УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛ|Я плоскостности ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ Советский патент 1973 года по МПК G01B11/30 

1

Изобретение относится к области контролй качества поверхности деталей и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов.

Известно устройства Для оптического контроля плоскостности поверхности деталей, содержащее предметный столик для укреплений проверяемой детали, источник света, световоды, воспринимающие лучи, отраженные от контролируемой поверхности, фотоприемиики. Подсоединенные к выходным торцам световодов, блок обработки электрического сигнала с фотоприемников.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что волокна световодов выполнены раздвоенными V-образной формы и составляют мозаичный экран, а выходные торцы раздвоенных световодов сгруппированы таким образом, что одни концы жгутов образуют сектор, а другие - кольцо мозаичного экрана, а устройство снабжено узлом координатного перемещения контролируемой детали, задающим и отслеживающим перемещение предметного столика, выход которого подсоединен к блоку обработки электрического сигнала.

Такое выполнение устройства повышает точность измерения.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - световод, на фиг. 3- схема распределения волоконных жгутов световодов на мозаичном экране.

Устройство для оптического Контроля плоскостности поверхности деталей содержит предметный столик 1, источник света, например лазер 2, световоды 3, волокна которых выполнены раздвоенными V-образной формы

и образуют мозаичный экран 4, а выходные ТорцЫ раздвоенных световодов сгруппированы таким образом, что одни концы жгутов 5 образуют сектор, а другие -жгуты 6-кольцо мозаичного экрана 4, фотоприемники 7, образующие фотоэлектрический блок 8, блок 9 обработки электрического сигнала с фотоприемников 7 и узел 10 координатного перемещения контролируемой детали, задающий и отслеживающий перемещение предметного

столика /.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Проверяемую деталь 11 укрепляют на предметном столике 1. Луч лазера 2 направляют

на соответствующую элементарную площадку под некоторым углом к поверхности детали 11, которую перемещают посредством узла 10 координатного перемещения. Отран енный луч

попадает на входной торец того или иного волоконного световода 5 мозаичного экрана 4. Любое отклонение отраженного луча от принятого нормального положения в ту или иную сторону свидетельствует о наличии дефекта на проверенной поверхности проверяемой детали 11. Это отклонение определяется положением отраженного луча на мозаичном экране 4.

По раздвоенным жгутам световода 3 отраженный луч попадает на соответствующую пару фотоприемников 7, с выхода которых на входы блока 9 обработки поступает два сигнала. На другие входы блока 9 поступают сигналы узла 10 координатного перемещения с информацией о координатах контролируемой элементарной площадки.

По разности углов отражения (нормального и фактического) судят о степени искривления поверхности детали, а количество уходов луча от нормального положения дает представление о числе дефектных участков.

Предмет изобретения

Устройство для оптического контроля плоскостности поверхности деталей, содержащее предметный столик для укрепления проверяемой детали, источник света, световоды, воспринимающие лучи, отраженные от контролируемой поверхности, фотоприемники, подсоединенные к выходным торцам световодов,

блок обработки электрического сигнала с фотоприемников, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, волокна световодов выполнены раздвоенными V-образной формы и составляют мозаичный экран,

а выходные торцы раздвоенных световодов группированы таким образом, что одни концы жгутов образуют сектор, а другие - кольцо мозаичного экрана, а устройство снабжено узлом координатного перемещения контролируемой детали, задающим и отслеживающим перемещение предметного столика, выход которого подсоединен к блоку обработки электрического сигнала.

J

Риг.. 2