УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ Советский патент 1973 года по МПК G01R27/02 

1

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть применено при производстве и контроле полупроводниковых электронных приборов.

Известно устройство для измерения удельного сопротивления методом четырех контактов, состоящее из изолирующего корпуса с направляющими втулками из рубина или сапфира и четырехпружинных контактов, которые одновременно являются зондами. Однако в известном устройстве расстояния между зондами колеблются из-за боковых усилий, возникающих при работе устройства, так как закрепление пружины одностороннее.

Для повышения точности и надежности в в предлагаемом устройстве на свободных концах зондов выполнены щлицевые прорези, через которые пропущены токопроводящие пружины.

На чертеже изображено предлагаемое устройство для измерения удельного сопротивления.

Устройство состоит из изолирующего корпуса /, зондов 2, токопроводящих пружин 3, проходящих через шлицевой паз зондов, и токосъемных пластин 4, на которые опираются токопроводящие пружины.

Устройство работает следующим образом.

При пропускании устройства впиз зонды 2 соприкасаются с полупроводниковым материалом и изгибают токопроводящие пружины 3. В зависимости от величины хода устройства меняется усилие на концах зондов 2.

При работе пружины 3 проскальзывают относительно кромок токосъемных пластин 4, что снимает боковые усилия на зондах 2 и способствует сохранению расстояний между ними. Наличие шлица предохраняет зонд от проворота во время работы устройства. Это исключает колебания расстояния между концами зондов из-за нецентричного положения острия зонда относительно его наружного диаметра.

15

Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного -сопротивления, в котором перпендикулярно к корпусу размещены зонды, а по краям корпуса - токосъемные пластины, на которые опираются токопроводящие пружины, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности устройства, на свободных концах зондов . выполнены шлицевые прорези, через которые -пропущены токопроводящие пружины.