Устройство для измерения удельного сопротивления Советский патент 1988 года по МПК G01R27/02 

И

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к уст ройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих подложек четьфехзондовым методом. Изобретение обеспечивает повьшение точности измерения путем уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния. Устройство содержит корпус 1, в котором размещены зонды 2, выполненные в виде электропроводящих пластин с заостренной контактирующей частью. Каждый зонд отделен от последующего изолирующей прокладкой 3 с токосъемником 4. В центрирующие отверстия токосъемника и прокладок проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Между корпусом 1 и одним из внешних зондов установлена пружина.7. Корпус отделен от зондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8 и 9 из полиимидной пленки. Пружина 7 плотно прижимает зонды и изолирующие прокладки токосъемников, что устраняет люфт между зондами. 2 ил. . (Я

со

00

ел

о

00

sj

Изобретение относится к измерительной технике, в шстности к устройствам для измерения удельного сопротивления электропроводящих подложек четырехзондовым методом.

Целью изобретения является повышение Точности измерения путем уменьшения случайных отклонений межзондо- вого расстояния.

На фиг. 1 изображено устройство для измерения удельного сопротивления; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. (вдоль плоскости симметрии одного из зондов).

Устройство для измерения удельного сопротивления (фиг. 1) содержит корпус 1, в котором размещены зонды 2, выполненные в виде электропроводных пластин с заостренной контактирующей частью (фиг. 2). Каждый зонд 2 отделен от последующего изолирую- щей прокладкой 3 и токосъемником 4. Зонды 2, изолирующие .прокладки 3 и токосъемники 4, имеют центрирующие отверстия, через которые проходит стержень 5 с надетым на него упругим изолятором 6. Стержень 5 закреплен в корпусе 1. Между корпусом 1 и одним из внешних зондов, например 2, установлена пружина 7. Корпус отделе от зондов 2 и токосъемников 4 изолирующими прокладками 8, 9 (фиг. 1). и 10 (фиг. 2). В качестве материала корпуса используют сталь ХВГ. Зонйы изготавливают из твердого сплава ВК-15М толщиной 0,1-0,5 мм. В качестве изолирующих прокладок 3, 8 и 9 используют полиимидную пленку толщиной 50 мкм. Изолирующие пр-окладки 10 (фиг. 2) изготавливают из керамики Поликор толщиной 2 мм. Токосъемниками служит напыленная на полиимидную пленку проводниковая структура хром-медь толщиной 0,5-2,0 мкм. Стержень изготавливают из стали ХВГ, а эластичный изолятор 6 - из резины.

0

5

0 5 о

5

Устройство для измерения удельного сопротивления работает следующим образом.

. При опускании корпуса 1 зонды 2 соприкасаются с измеряемой подложкой и начинают деформировать упругий изолятор 6, надетый на стержень 5. Опускание корпуса 1 и деформация упругого изолятора 6 происходит до тех пор, пока все зонды 2 не соприкоснутся контактирующей частью с подложкой и не будет достигнуто требуемое усилие прижима зондов к подложке. При этом стержень 5 ограничивает перемещение зондов в вертикальном направлении, а изолирующие прокладки 10 (фиг. 2)- в горизонтальном направлении. Изолирующие прокладки 3 и эластичный изолятор 6 обеспечивают электрическую развязку зондов 2 между собой, а токосъемники 4 - подключение зондов к внешней изиерительной схеме (на фиг. 1 не показана). Пружина 7 обеспечивает плотное прилегание зондов, изолирующих прокладок и токосъемников друг к другу, что в свою очередь устраняет люфт между зондами.

Формула изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления, содержащее корпус, размещенные в нем заостренные электропроводящие зонды и токосъемники, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения случайных отклонений межзондового расстояния, зонды и токосъемники выполнены в виде злект-, ропроводных пластин, причем каждый зонд отделен о т последующего изолирующей прокладкой и токосъемником, причем зонды, изолирующие прокладки и токосъемники имеют центрирующее- отверстие, сквозь которое проходит стержень с надетым на него упругим изолятором, а между корпусом и изолирующей прокладкой одного из крайних зондов установлена пружина.