ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Советский патент 1972 года по МПК G01R1/20 H05K3/00 

Изобретение относится к области измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов и предназначено для использования в ЗОНДО.ВЫХ датчиках для измерения удельного сопрот-изления германия и кремния контактными методами.

Известна зондовая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корпуса, зонда, выполненного в виде заостренного стержня, зондодержателя, токостроводящего узла и .

Цель изобретения - повышение точности измерения и обеспечение удобства в эксплуатации.

Для этого токоподводящий узел вылолнен в виде насаженной на зонд втулки, на торцовую поверхность которой опирается конец упругого стержня, другой конец которого расположен в радиальном отверстии штеккера.

Зондовая головка изображена на чертеже.

В корпусе / из изоляционного материала закреплены токоподводящие вилки 2 и зондодержатель 3. В зондодержателе 3 выполнены отверстия, в которые запрессоБаНЫ .рубиновые подшипиики 4. В подшипниках 4 установлены зонды 5, на которых укреплены токоподводяшие втулки 6, выполненные из материала с малым удельным сопротивлением и высокой устойчивостью на истирание, например, меди,

Во втулках 6 выполнены прорези, в которые помещены токоподводящие пружины 7. На зондодержателе 3 закреплена насадка 8, выполненная из изоляционного материала.

Токоподводящий узел может быть выполнен в виде штеккера с радиальным отверстием, закрепленного в головке.

Соединение зондовой головки с измерительной схемой осуществляется с помощью токоподводящих вилок 2.

При проведении измерения удельного солротивления зондовая головка приводится зондам.и 5 в соприкосновение с контролируемым ма.териалом. Зонды 5, перемещаясь в рубиновых подшипниках 4, изгибают токонесущие пружины 7, которые создают давление зондов 5 на материал. Свободный конец пружины 7 скользит по прорези токопод водя щей втулки 6, не препятствуя прямолинейному перемещению зонда 5.

В то же время создается малое переходное сопротивление между токоподводящей втулкой 6 и токонесущей пружиной 7- Токонесущая пружина 7, находясь в прорези токоподводящей втулки 6, препятствует повороту зонда вокруг собственной оси, что увеличивает точность измерения при эксцентричной заточке зонда.

Предмет изобретения

Зондовая головка, например, для измерения электрических параметров полупроводниковых материалов, состоящая из корпуса, зонда, выпол,ненного в виде заостренного стержия, зондодержателя, токоподводящего узла и штеккера, отличающаяся тем, что, с целью павышения. точности измерения и удобства эксплуатации, токоподводящий узел выполнен в виде насаженной па зонд втулки, на торцовую noBeipxность которой опирается конец упругого стержня, другой конец которого расположен в радиальном отзерстии штек1кера.

АА