УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОЯВЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА Советский патент 1973 года по МПК G03F7/26 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства радиоэлектронных деталей.

Известные устройства для проявления фоторезиста, содержащие наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками и размещенный внутри камеры предметный столик, соединенный с приводным механизмом, «е обеспеч:ивают интенсификации процесса проявления и повышения качества проявления фоторезиста.

Цель изобретения - интенсификация процесса проявления и повышение качества проявления фоторезиста.

Для этого крышка с форсунками, которые установлены на сферических шариирах с разрезными полукольцами, подв-ижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращения.

На фиг. 1 представлена кинематическая схема предлагаемого устройства; «а фиг. 2 - крепление форсунки на крышке камеры.

Устройство для проявления фоторезистора состоит из наружного каркаса 1, закрывающего реакционную камеру 2 с расположенными «а ее раздвижной крышке 3 распылительными форсунками 4. Форсунки установлены (см. фиг. 2) на сферических шарнирах 5 с

разрезными полукольцами 6 и болтом 7, позволяющими изменять угол наклона факела распылительных форсунок до 20-30° к вертикали. Раздвижная крышка 3 снабжена

внешним цилиндром 8 и соединена при помощи ходового винта 9 и скобы 10 с наружным каркасом /. Это соединение позволяет изменять расстояиие между распылительными форсунками и обрабатываемыми изделиями.

Внутри реакционной камеры 2 находится предметный столик 11, поверхность которого наклонена к оси вращения под углом 5-15 к горизонтали. Наклонное расположение изделий, уложенных в кассеты 12 реакционной

камеры, подобранное в соответствии с центробежной силой при центрифугировании, позволяет удерживать изделия без дополнительных конструктивных средств.

Предметный столик 11 через вал 13, муфту 14 обгона и электромагнитную муфту 15 соединен с планетарным редуктором 16, который имеет два выходных вала, размещенных один в другом, причем, внешний вал 17 одновременно является и кулисой, а внутренний вал

18 обеспечивает прямую передачу от электродвигателя 19. Это позволяет вращать предметный столик с двумя скоростями.

Принцип работы устройства заключается в следующем.

Изделие, подлежащее обработке, укладывают на кассету 12, которую ставят на предметный столик // в реакционной камере 2. Ходовым винтом 9 устанавливают . необходимое расстояние между кассетой 12 и распылительными форсунками 4 и угол наклона факела распылительных форсунок. Затем камеру закрывают крышкой 3.

Фоторезист проявляют методом пульверизации в среде очищенного воздуха или нейтрального газа при малой скорости вращения (24 об/мин) Предметного столика //. Движеиие от электродвигателя 19 передается через эластичную муфту 20, центральную шестерню 21, кулису 22, полый вал 17, шестерню 23, полую кулису 24, на муфту 14 обгона и далее, через клиноременную передачу, вал 13 и на предметный столик // с кассетой 12.

По окончании проявления отключают распылительные форсунки проявления и включают форсунки струйной промывки деионизован.ной водой (дистиллированной) при 45- 50°С. По окончании промывки отключают распылительные форсунки промывки и включают электромагнитную муфту 15, которая вращает предметный столик // с большой скоростью (1400 об/мин) от электродвигателя 19 через эластичную муфту 20, вал 18, который проходит виутри полого вала 17, и кулису 24, электромагнитную муфту 15, муфту 14 обгона, одновременно совмещающую щкив, далее через клиноременную передачу, вал 13 н .на предметный столик 11с кассетой 12, одновременно включают распылительную форсунку очищенного воздуха, сушат методом центрифугирования с интенсификацией сушки обдувом очищенным воздухом.

Предмет изобретения

Устройство для проявления фоторезиста, содержащее наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками, размещенный внутри камеры предметный столик, соединенный с приводным механизмом, отличающееся тем, что, с целью интенсификации процесса проявления и повышения качества проявления фоторезиста, крышка с форсунками, которые установлены на сферических шарнирах с разрезными полукольцами, подвижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращения.