СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР Советский патент 1973 года по МПК C23C14/52 

1

Изобретение относится к области нанесения нокрытий в вакууме и может быть применено в установках для вакуумной обработки материалов.

Известно смотровое окно для .вакуумных камер, содер,жащее смотровое стекло, элементы герметизации п соединения его с вакуумной камерой и экран с отверстием. Экран выполнен подвижным, а стекло - неподвижным относительно вакуумной камеры.

Однако наличие движущихся механизмов в условиях высокого вакуума и, в особенности, высоких темнератур снижает надежность установки В целом и, следовательно, уменьшает срок службы.

Цель изобретения - увеличение срока службы установки.

Достигается это тем, что экран жестко связан с вакуумной камерой, а смотровое стекло выполнено подвижным относительно экрана и соединено с вакуумной камерой посредством гибкого герметичного элемента.

На чертелсе представлена конструкция смотрового окна.

Смотровое окно состоит из стекла /, закрепленного на фланце 2 с помощью кольца 3 и герметично уплотненного уплотпительпым кольцом 4. Смотровое стекло / с фланцем 2 соединены со стенкой вакуумпо: камеры 5 посредство.м герметичного элемента - сильфона 6. Один конец этого сильфопа приварен

2;;;

к фланцу, а другой - к- Вакуумной камере 5, на стекке которой ненодеижно укреплен экран 7, имеющий форму; усеченного конуса с отверстием а.. Экран предохраняет основную площадь .смотрового стекла от загрязнения испаряющимися в- - вакуумной камере материалами. Загрязнение; смотрового стекла происходит лишь на его участке, расположенном напротив отверстия в; экране. С фланцем 2 связан механизм S перемещения смотрового стекла /.;..

Устройство работает следующим образом.

По мере загрязнения участка смотрового стекла, расположенного напротив отверстия, стекло с фланцем перемещают механизмом 8. Таким образом можно проводить работу, периодически перемещая смотровое стекло 7 до полного загрязнения всей его площади. Дишь после этого необходима разгерметизадия камеры 5 для чистки стекла /.

Для проведения кратковременных периодических наблюдений за процессами напротив отверстия а экрана 7 постоянно размещают один и тот же участок стекла /. На период кратковременного наблюдения ..стекло / с фланцем 2 перемещают с: помощью механизма 8 и, установив незагрязненный участок стекла / напротив отверстия, проводят наблюдение, после чего стекло / перемещают в исходное положение.

Направления перемещений смотрового

стекла / указаны на чертеже стрелками. Штрих-пунктирной лннией показано одно из положений устройства IB процессе работы.

Предмет изобретения

Смотровое окно для вакуумных камер, содержащее смотровое стекло, элементы герметизации и соединения его с вакуумной камерой и экран с отверстием, отличающееся тем, что, с щелью увеличения срока службы, экран жестко связан с вакуумной камерой, а смотровое стекло установлено подвижным относительно экрана и соединено с вакуумной ка1мерой посредством гибкого герметичного элемента.