УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ из ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Советский патент 1973 года по МПК C23C16/54 

1

Известно устройство для получения покрытий из газовой фазы, содерж ащее циЛИндрические камеры, установ.т-енные на одном столе и заключенные в общий «ожух, нагреватели, пульт для подачи газа и пульт управления.

Предлагаемое устройство отличается от .известного тем, что нагреватели, расположенные внутри цилилдров камер зигзагообразно, иараллелБио их оси и ниже ее на 1/7-1/9 диаметра цилиндра, служат одновременно подставками для расположения подложек.

Это позв-эляет повысить к. п. д. устройства и обеспечить .получение равномерных по толщине слоев поюрытия.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство для получения покрытий из газовой фазы, общий вид; на фиг. 2 - камера, общий вид; па фиг. 3 - разрез по А-А на фиг. 2; на фиг. 4 - камера, вид Оверху.

Устройство состоит лз Цилиндрических камер 1, устаиовленых «а одном столе 2 и заключенных в общий кожух 3, нагревателей 4, пульта 5 для шодаЧИ газа и пульта управления 5. Оси камер горизонтальны и параллельны друг другу, а нагреватели 4 расположенные внутри ахилиндров камер 1, зигзагообразно, параллельно оси н нчже ее иа 1/7-1/9 диаметра цилиндра, служат од новремеино подставка.ми для расположеяня подложек.

Камер; / содержит цилиндрическ41Й водоохлаждаемый корпус, открывающуюся водоохлаждаемую крышку 7, токовводы 8, натре.вател.и 4 сопротивления, изолирующие подставкл 9 под подвижные концы нагревателей, газоподводящую трубку 10, газораспределительгые трубки //, смотровое ок«о 12.

При загрузке камеры открывают крышку 7. Нагреватели 4 с находящимися иа них подложками крепят токоподводящим.и концами к токовводам 8, а свободные концы их устанавливают на изолирующие подставки 9. После этого камеру закрывают крышкой, герметизируют и про}1эводят продувку ее газом через газоподводящую трубку 10 и ра-спределительные трубки //. Затем € пульта управления производят подачу электропитания на нагреватели 4 и после достижения необходимой температуры осуществляют подачу соединения соответствующих материалов через газораспределительные трубки 11. При нагреве материал нагревателей ра-сширяется, нагреватели удлиняются и скользят свободным концом по изолирующей подставке.

С помощью газораспределительных трубок реакционная смесь подается равномерно по длине камеры я конвективными лотокамн тралспортируется к подложкам, которые находятся на нагревателях. С помощью копиективного масооб|Ме.на концентрация ПГС по длйне нагревателей усредияется. Ко-итроль процесса строизводят наблюдением через смотровое окно 12. Во время проведения .процесса нанесения слоя в одной камере производят вспомогательные операции в другой (установка нагревателей в камеру, герметизация камеры, продувка и т. д.). По акончамии процесса нанесения слоев в первой камере производят переключение лроцесса нанесения слоев на вторую камеру; затем цикл повторяется. Предмет изобретения Устройство для получения покрытий из газовой фазЕ)1, содержащее цилиидрические камеры, установленные «а одном столе и заключен1ные в общий кожух, нагреватели, пульт для подачи газа и пульт упра.в.тения, отличающееся тем, что, с целью повышения к.п.д. устройства и обеспечения равномерных по толщине слоев локрытий, нагреватели, расположенные внутри цилиндров Камер зигзагообр:аз«о, параллельно их оси и ниже ее -на 1/7-1/9 диаметра цилиндра, служат одновременно подставками для расположения подложек.

-ф«:-фф Щ ф

С13 аг

Drain

LTDJ

10