КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО МИКРОАНАЛИЗАТОРА Советский патент 1973 года по МПК G01N23/223 

1

Изобретение относится к рентгеноснектрал)ным приборам с узким электронным пучокэлектронным зондом для возбуждения в локальном участке образца характеристического рентгеновского излучения, по которому определяется химический состав в этом участке.

Известны камеры образцов для электроннозондовых микроанализаторов, в которых помимо объекта помещают эталоны, играющие роль внешнего стандарта при количественных измерениях концентрации элементов в микрообъемах образца; при этом образец и эталоны помещают на одной подвижной площадке столика образцов. Для замены образца эталоном и эталона образцом площадку перемещают прецизионным механизмом столика образцов.

Однако замена образца эталоном и обратно происходит довольно медленно, так как механизм перемещения микрометрический, а линейные расстояния от образца до эталона больщие. Кроме того, микрометрический .механизм подвергается ускоренному износу из-за частого подведения иод электронный зонд. Для установки образца в первоначальное положение после увода эталона нужно по отсчетным устройствам механизма столика выставить ранее отсчитанные координаты, что также замедляет и усложняет работу.

Цель изобретения - ускорение ввода эталонов под электронный зонд на место образца

и вывода их из-под зонда, автоматизация возвращения образца в первоначальное положение после увода эталона и уменьщение износа прецизионного механизма столика образцов. Предлагаемая камера образцов отличается тем, что столик образцов снабжен двумя каретками, первая из которых с образцами при вводе эталонов под электронный зонд отводится второй кареткой с эталонами. При выводе эталонов из-под зонда образец автоматически возвращается в исхо.дное положение.

На чертеже схематически показан микроавализатор с подробным изображением деталей механизма столика образцов.

Панцырь короткофокусной линзы снизу заканчивается частью корпуса камеры образцов, к нижнему скосу которой на вакуумном уплотнении подсоединена вторая часть корпуса

1 со столиком образцов.

Образец 2 располагают в держателе 3 .на подвижной каретке 4, установленной на верхней площадке 5 механизма столика образцов. Каретка 4 подтянута 6 к упору 7.

Столик образцов выполнен на упругих безлюфтовых параллелограм.мных механизмах, позволяющих точно перемещать образец по трем координатам х, у, z. Верхняя площадка 5 закреплена на упругих в направлении х

плоских пружинах 8, соединенных с площадкой 9, которая жестко связана с подвижной в направлении у площадкой 10.

Площадка 5 подтянута пружиной 11 через шарнирный упор к отсчетной рукоятке 12.

Площадка 10 закреплена на упругих в направлении у плоских пружинах 13, соединенных с подвижной в направлении z стойкой 14. Площадка 10 подтянута пружинной 15 через два щарнирных упора и двуплечий рычаг к винту отсчетной рукоятки 16. Стойка 14 на упорном ша,рнире 17 соединена с двуплечим рычагом 18, который также соединен упругим щарниром 19 с корпусом камеры 1 и упирается на установочный винт 20. Нижний конец стойки 14 соединен упругим звеном 21 с корпусом камеры 1.

Эталоны 22 ра1аполагают в держателе 23 на каретке 24, которая установлена на стойке 14 и подтянута дружиной 25 к толкателю 26 в корпусе камеры. Поверхности образца и эталолов находятся в одной плоскости.

Для ввода на место образца эталона нажимают на толкатель 26 и прямолинейно перемещают каретку 24 с держателем эталонов 23. Каретка 24, подойдя к каретке 4, упором отводит ее вместе с образцом в сторону. Для установки нужного эталона толкатель 26 останавливается в положении, соответствующем положению данного этанола под электронным зондом. Пазвания или номера эталонов прочитываются на шкале толкателя.

Для отвода эталона и установки образца в первоначальное положение относительно электронного зонда толкатель 26 перемещают в обратном направлении. При этом под действием пружин 6 и 25 начинают перемещаться В обратном направлении каретки 4 и 24. Каретка 4 с образцом автоматически останавливается в исходном положении, дойдя до упора 7. Удары ее об упор гасятся установленным на ней центробежным тормозом (на чертеже не показан).

При вводе и выводе эталона прецизионный механизм перемещения образца по осям х и у находится в статическом положении.

Предмет изобретения

Камера образцов для электронно-зоадового микроанализатора, в корпусе которой размещен столик ДЛ1Я образцов .и эталонов с механизмами перемещения, отличающаяся тем, что, с целью повышения оперативности анализа, столик снабжен двумя каретками с подвижными частями, одна из которых предназначена для образцов, а другая -для эталоВОВ, причем первая каретка лодтянута пружиной к упору на подвижной части, а вторая установлена на подъемной части механизма перемещения столика, подтянута пружиной к толкателю, размещенному в корпусе камеры,

и снабжена упором для отвода первой каретки.

/3

16