Камера образцов для электроннозондового микроанализатора Советский патент 1978 года по МПК H01J37/20 

(54) КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДШОГО

12 МИКРОАНАЛИЗАТОРА

ных механизмов, например, ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов.

Сущность изобретения поясняет чертеж. Камера образцов содержит герметичный высоковакуумный корпус 1, в котором расположен столик 2 с образцом 3 и эталонами 4. Столик снабжен направляющими 5 и 6. Два идентичных привода перемещеьшя 7 и 8 расположены вне вакуума. Привод имеет винт 9, проходящий в вакуумный объем через уплоткние 10 и гайку 11, составляющую одно целое с барабаном 12. Гайка 11 вращается в подшипниках 13 ползуна -14. Ползун 14 надет на цилиндрический корпус 15 и своим торцом прижат к упору 16 с помощью фиксатора 17. Ползун 14 имеет зубчатую рейку 18, находящуюся в зацеш1е1ши с трибкой 19. Винт 9 удерживается от вращения ищонкой 20, несущей на себе планку со шкалой 21 коорди-. кат эталонов и шкалой 22 координат образца. Камера работает следующим образом. При вращении барабана 12 винт 9 двигается поступательно, толкая столик 2, при этом щкала 22 перемещается относительно торца барабана 12, давая отсчет положения образца. Тяга 23 отводит фиксатор 17, после чего поворот трибки 19 перемещает ползун 14 с гайкой 11 и винтом 9, приводя в двияжние столик 2, при этом шкала 21 перемещается относительно корпуса 1, давая отсчет положения эталона.

Основной эффект от применения изобретения получается за счет сокращения времени

анализа и больщей достоверности результатов, обусловленной жесткой фиксацией анализируемой точки образца.

Формула изобретения 1. Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик для образца и эталонов, механизмы прецизионного перемещения столика в корпусе по двум координатам, например винтовые и щкалы перемещения столика по каждой из координат, отличающаяся тем, что, с целью повыиления оперативности анализа, механизмы прецизионного перемещения столика установлены в транспортных механизмах, например, на ползунах реечных механизмов перемещения, а каждая шкала перемещения столика выполнена в виде двух координатных сеток, соответственно, для образца и эталонов, нанесенных на планку, жестко скрепленную с подвижным

элементом соответствующего механизма прецизионного перемещения столика, например с винтом одного из винтовых механизмов.

2. Клмера по п. 1, отличающаяся тем, что ее корпус снабжен упорами для подвижных элементов транспортных механизмов, например ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 397827,

G 01 N 23/22, 1973.

2, Проспект фирмы jtOJ , ЗХА -5, Г 682, 113-35 Тр, 7, 9. .