Камера образцов рентгеновского микроанализатора Советский патент 1981 года по МПК G01N23/20 

Изобретение относится к рентгено-спектральным и электроино-зондовым микроаиалнэаторам локального, качественного и количественного анализа состава образцов, а именно к входящим в состав этих приборов камерам образ цов, обеспечивающим необходимые перемещения исследуемого объекта и эталонов. Известен микроанализатор, снабженный камерой образцов, в вакуумном корпусе кото рой .размещен столик для образцов и эталонов и прецизионные механизмы, обеспечивай щие этому столику перемещения по трем координатам (х и в плоскости образин, Z - вдоль оси электронно-оптической системы) 1 Известна также камера образцов для элект ронно-зондового микроанапизатора, содержащая столик для образцов и эталонов с механизмамн, обеспечивающие этим столиком дифференцированные перемещения, благодаря тому, что столик снабжен двумя независимыми каретками, одна - для образца, другая - для эталона. Каретка для образца перемещается прецизионным винтовым механизмом, Kapei ka для эталонов - толкателем. Оперативность анализа в этой камере образцов достаточно высока, но вследствие использования упругих направляющих, диапазон перемещения кареток мал, и в результате нельзя исследовать образцы большем площади {2}. Наиболее блязкш к предлагаемой является камера образцрв рентгеновского мюсроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик с держателем о пзцов, установленный в п&л с возможностью постутательного перемещения по трем координатам, и приводы, передающие столику движение из вне вакуумного объема 3. Недостатком зтих камер является сложность, а вследствие зтото потеря точности анализа крутшогабаритных объектов. Цель изобретения - повьпаение точности микроанализа крпуногабаритных образцов. Поставленная цель достигается тем, что в камере образцов рентгеновского мккроанализатора, содержащей вакуумный корпус, столик с держателем образцрв, установленный в нем с возможностью поступательного перем щения по трем координатам, н приводы, пере