К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУМ. Кл. G 01 г 31/26УДК 621.352.2(088.8) Советский патент 1973 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение относится к контрольно-измерительному оборудованию, применяемому в палупроводвиковой промышленности при производстве полупроводниковых приборов, в частности предназначено для измерения нестабильности обратного тока перехода полупроводи и кового прибора.

Известны устройства для проверки малых нестабильностей обратных токов переходов полупроводниковых приборов, содержащие магнитный усилитель, схему сравнения с элементом памяти, электронное реле времени, схему коммутации и источник питания.

Недостатком указанных устройств является низкая точность и и адежяость, так как они не позволяют обнаруживать знако переменные Егестабильности то-ка.

Цель изобретения - повысить точность и надежность работы устройства. Это достигается тем, что между выходом датчика-преобразователя то:ка и схемой коммутации и индикации включены усилитель знакопеременных сигналов и схема сравнения, подключенная к реле времени, соединенному со схемой сравнения с элементом памяти и схе.мой коммутации и илдикации.

На чертеже изображена блок-схема описываемого устройства.

Устройство .содержит датчик-преобразователь тока 1, выполненный в виде усилителя, к

выходу которого параллельно подключена схема сравнения 2 с элементом памяти, и усилитель 3 знакопеременных сигналов с заданной полосой пропускания. Выход схемы сравнения 2 с элементом па1мяти соединен со схемой коммутации и индикации 4, к которой через схему сравнения 5 подключен также и усилитель 3. Между схемами сравнения 2, 5 и схемой коммутации и индикации 4 включено реле времени 6. Все элементы устройства подключены к источнику питания 7. Устройство работает следующим образом. К участку испытуемого перехода 8 (или 9) прикладывается наиряжение от источникл питалия 7, соответствующее рабочему режиму. Обратный ток пере.хода в датчнке-преобразователе тока 1 усиливается. Усиленный сигнал тока перехода сравнивается в схеме сравнения 2 с сигналом, пропорциональным норме по постоянной составляющей тока, установленной в технических условиях. Если он превыщает установленный уровень, то схема сравнения 2 выдает снгн1ал в блок коммутации и индикации 4, и устройство сигнализирует о браке.

Если же сигнал на выходе датчика-прсобравователя 1 меньше установленной нормы, то происходит его запоминанне через заданное ТУ время в элементе памяти схемы 2. Одновременно к выходу усилителя зиакоиеременных сигиалов 3 подключается схема сравнеНИЯ 5. При наьличии в токе знакопеременных колебаний те, которые лежат в диапазоне полосы пропускания усилителя 3, поступают на схему сравнения 5, и в случае превышения колебаниями заданной нормы схема сравнения 5 дает в схему коммутации .и индикации 4 информацию о браке. Если же знакопеременные колебания отсутствуют или их величина меньше нормы, то по истечен ии испытательного промежутка временя по сигналу реле времени 6 схема сравнения 2 снова 1яодключается к (выходу датчика-преобравователя 1. Если в этот момент сигнал на выходе датчика-преобразователя 1 будет отличаться от сигнала, зафшшированного на элементе памяти схемы 2, то Hai ее выходе 2 по явится импульс, пропорциональный величине моно TOiHHO изменяюп егося обратного тока исследуемого перехода полупроводникового прибора. Таким обр.азом, предлагаемое устройство способно фиксировать не только монотонные. 3 9 - -e.-ii-.i. -- -../ но и знакопеременные нестабильности обратного тока, что повышает точность и надежность разбраковки. Предмет изобретения Устройство для раЗбракО;Вки полупроводниковых 1приборов по нестабильности обратных токо-в Р.-П переходов, содержащее датчик-преобразователь тока, выполненный в виде усилителя, соединенный со схемой сравнения с элементом памяти и схемой коммутации и индикации, и реле времени, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежно сти разбраковки, между выходом датчика-преобразователя тока и схемой коммутации и индикации включены усилитель знакопеременных сигналов и схема сравнения, подключенвая к реле времени, соединенному со схемой сравнения с элементом памяти и схемой коммутации и индикации.