УСТРОЙСТВО для КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/36 C23C14/02 C23C14/56 

1

Изобретение стн;;с;1тся к области нанесения покрытий в в;;-:уу.ме и может быть применено для получения тoнкoплeнo IЧыx покрытий на металлических подложках методом катодного распыления.

Известно устройство для ка одного распыления материалов, содержс и ее вакуумную камеру, внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подложек, и блО:К ионной очистки.

Цель изобретения - проведен.. последовательных стадий очистки и распыления -одновременно на обеих сторонах подлол ,:, чего не позволяет из1вестное устройство.

Для этого .механизм перемещения в предлагаемом устройстве выполнен в виде установленных на направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен заслонками, электрически соединенными с камерой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного напряжения.

На фиг. 1 и 2 представлено предлагаемое усТ(ройство для катодного распыления материалов.

Устройство состоит из вакуумной камеры /, внутри которой укреплены катоды 2, 3, 4, 5, механизм перемещения металлических подложек 6, 7, выполненный в виде установленных на направляющих рельсах 8, 9 те.тежках 0, 11, и блока очистки, снабженного заслонками 12, 13, 14 и 15, электрически соединенными с камерой 1. Катоды 2, 3, 4, 5 и заслонки 2, 13, 14, 15 смонтированы по обе стороны механизма перемещения. Тележки 10, 11 и катоды 2, 3, 4, 5 соединены с источ 1иком переменного напряжения.

Устройство работает следующим обра- ом.

Металлические подложки б и 7 укрепляют вертикально на тележках 10, 11 и номещают каждую .между двумя заслонками 12, 13, 14 и 15. Затем камеру / откачивают до необходимого давления и заполняют рабочим газо.м.

Каждая подложка посредством тележек W и 11 соединена с источником неременного напряжения, величина которого - порядка 3000-4000 в. Во время соответствующего ло,Ч периода каждая ноДьЧОжка является катодо и псп.ряется на заслонках 12, 13, 14 и J5, которые охлаждаются циркулирующей водой.

Этот процесс составляет стадию очистки методом ионной ломбардировки, которая сопровождается повышением температуры подложек до 300-бОО С.

Затем подложки отключают от источника высокого напр;1женил и посредством тележек 10 и 11 устанавливают в новое положеиие между катодами 2, Л, 4, 5, причем подложки оказываются в положении анодов, связанных с камерой посредством тележек. Металл катодов 2, 9,4 и 5 напыляется на обе стороны подложек в разреженной атмосфере. Катоды охлаждаются внутренней циркуляцией жидкости диэлектрика.

После окончания процесса открывают днище камеры; тележки возвращают в исходное положение; обра:ботанные подложки выжимают и заменяют новы-ми для возобновления цикла.

Предмет и з о б ip е т е ii и я

Устройство для Катодного распыления материалов, содержащее ва.куумиую камеру,

внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подложек, и блок очистки, отличающееся тем, что, с целью проведения последовательных стадий очистки и распылегния однов|ремен|Но на обеих сторонах подложки, механизм перемещения -выполнен в виде устаиовленных на направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен заслонками, электрически соединенными с каме,рой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного напряжения.

1г 12

3-

Т

1

5

Е---- -п

15 14

3