УСТРОЙСТВО для ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПЕРЕМЕННОЙ ТОЛЩИНЫ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ( Советский патент 1973 года по МПК C23C14/38 

,1

Известно устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением, содержащее вакуумную .камеру, внутри которой укреплены многосекционный катод и анод.

В этом устройстве катод выполнен из двух ИЛ:И более изолированных друг от друга цилиндрических кольцеобразных секций, на каждую ИЗ которых подается электрический потенциал. Величина потенциала определяется требуемым законом распределения толщины покрытий.

При это1М наблюдается «краевой эффект секций катода: имеющийся зазор между секциями уменьшает толщину покрытия в соответствующих местах напыляемых подложек, что отрицательно сказывается на качестве покрытий.

Цель изОбретения - повыщение качества покрытий.

Для этого каждая секция катода выполнена в виде тороида, торцы которого срезаны под углом.

На чертеже представлено предлагаемое устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением.

Устройство состоит из вакуумной ка.меры 1, внутри которой укреплены многосекционный катод 2 И анод 3. Камера закрывается крыщками 4 и 5, передвигающимися совместно с тележками 6 по направляющим 7. Герметизация обеспечивается установленными в канавках камеры резиновыми уплотнителями 5.

На фланце крыщки 5 установлен вакуумный ввод вращения 9, в корпусе которого находится червячная передача 10; вращение червяка производится через щкивную передачу 11 от электродвигателя 12, установленного на тележке 6. На валу ввода вакуумного вращательного

механизма установлен барабан-анод 3, на котором крепятся напыляемые 1подложки 13. На левой крыщке 4 установлен цилиндрический катод 2, состоящий из двух или более изолированных друг от друга изоляторов 14 секций

15, на каждую из которых через токопровод 16

{подается электрический потенциал. Величина

потенциала онределяется требуемым законом

распределения толщины покрытия.

Секции катода 2 выполнены в виде тороиДОН, торцы которых срезаны под углом, обеспечивающим перекрытие соседней секции. Вследствие этого достигается равномерное влияние «краевого эффекта в пределах всего катода, что позволяет повысить точность закономерно изменяющейся толщины покрытия напыляемых подложек. Устройство работает следующим образом. Напыляемые подложки 13, вращаясь совместно с барабаном-анодом 3, покрываются

пленкой с закономерно изменяющейся толщиной в осевом направлении анода. Изменяя величину электрического потенциала на различных секциях 15, можно добиться цо«рытия с изменяющейся толщиной.

Предмет изобретения

Устройство для получения покрытий переменной толщины катодным распылением, содержащее вакуумную камеру, внутри котО|рои укреплены м.ногосекционный катод « анод, отличающееся тем, что, с целью повыщения качества покрытий, каждая секция катода вынолеена в виде тороида, торцы которого срезал ы под углом.

15

7

1,