1вДТЕНТНО-ТЕкШпЕГ:ЧЕт.? Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 C23C14/36 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для нанесения тонкопленочных покрытий методом катодного распыления.

Известно устройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой (укреплены .подвижные катоды и подложкодержатель, и механизм перемещения.

Однако В известном устройстве подложкодержатель монтирован неподвижно, что не позволяет наносить покрытия на обе стороны подложки в ОД1НОМ процессе.

Цель изобретения - нанесение покрытий на обе стороны подлож1ки в одном процессе.

Это достигается тем, что подложкодержатель выполнен в виде оправ, соединенных .между собой скобами, связанными с механизмом ,пе|ремещения.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показана), внутри которой укреплены подвижные катоды 1, 2 и подложкодержатель, выполненный в виде двух металлических оправ 3, 4, представляющих собой круглые диски с посадоч1ными местами для подложек. Оправы соединены скобами 5. Поворот подложкодержателя производится с помощью механизма, состоящего из шестерен 5 и 7, одна из которых монтирована на оси 8, а другая - на оси 9, соединенной с вращающимся шлифом и механизмом враш,ения (на чертеже не показаны). Вакуумная л-самера ставится на металлическую плиту 10, соединенную с откачной системой. На плите монтировано распылительное устройство. Высота каждой .из оправ примерно «а 0,5 мм меньше половины толщины покрываемой детали. В одну из оправ помещается подложка, а другая ответная оправа ставится сверху и соединяется с помощью скоб 5, соединенных с осями 8, .вставленными в пазы стоек 11. Катоды ща)рнирно соединены со стойаками 12 и подъемными механизмами 13 (на чертеже катоды /, 2 показаны в нерабочем положения). При таком положении катодов производится поворот подложкодержателя с подложка:ми для нанесения покрытий на вторую пюверХ|Ность.

Подготовленная к покрытию подлол ка помещается в одну из оправ 3, 4. Затем сверху ставится ответная оправа и обе оправы скрепляются скобами 5, и полученная таким образом единая оправа одевается на ось 8. После этого к одной из поверхностей детали, обращенной к катоду, подводится кремниевый катод или поочередно танталовый и кремниевый в зависимости от требуемого покрытия.

После чего наносится т,ребуемое покрытие па эту сторону. Далее катоды /, 2 ставятся в нерабочее положение и производится поворот оправы с подложками с помощью механизма вращения для нанесения покрытия на вторую сторону. Затем также как и при нанесении покрытия на первую сто.рану подводится катод (или поочередно катоды) и производится нанесение покрытия на вторую сторону. Этим процесс за1канчивается, а потовая деталь с двусторонним покрытием снимается.

Предмет изобретения

Устройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой укреплены подвижные катоды и подложкодержатель, и механизм перемещения, отличающееся тем, что, с целью нанесения покрытий на обе повер.хности подложки в одном процессе, подложкодержатель выполнен в виде олрав, соединенных между собой скобами, связанными с механизмом перемещения.