СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ Советский патент 1973 года по МПК G01L27/00 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к градуировке манометров низкого давления динамическим методом.

Известный способ градуировки с помощью трех камер, последовательно соединенных через отверстия с известными проводимостями, и откачиваемых вакуумным насосом, характеризуется недостаточной точностью; кроме того, в известном способе сложен процесс градуировки.

Цель изобретения - повышение точности и упрощение процесса градуировки.

Это достигается тем, что вначале посредством кланана, помещенного в камере низкого давления, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочнои камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по манометру сравнения значение давления в градуировочнои камере, затем закрывают это отверстие и нонижают давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочнои камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.

На чертеже представлена схема вакуумной

системы, используемой в предлагаемом способе.

Вакуумная система состоит из трех последовательно соединенных камер, откачиваемых

насосом 1, примыкающим к одной из них - камере 2. В этой камере устанавливается самое низкое давление РН. Следующая за камерой 2 камера 3 - градуировочная - отделена от предыдущей двумя диафрагмами 4 и 4

с отверстиями, размеры и форма которого таковы, что позволяют рассчитать их проводимость Ll и f/2 соответственно но известной формуле. Одну из диафрагм - 4 (U) можно открывать или закрывать с помощью кланана

(или задвижки) 5, находящегося в камере 2. К градуировочнои камере 3, в которой устанавливается давление Р, значительно более высокое по сравнению с РШ с другой стороны через диафрагму 6 известной малой проводимостн Uo присоединена последняя из трех камер - камера 7, исходное давлеиие РО в ко торой (значительно более высокое по сравнению с Р) измеряют образцовым абсолютным манометром 8. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи) 9 присоединяют к камере 3. Манометр 10 сравнения нрисоединен к градуировочнои камере 3. Предлагаемый способ представляет собой

следующую последовательность операций.

После предварительной откачки системы в камере образцового манометра устанавливают давление Ра, измеряемое этим манометром; при этом клапан открыт. Давление Р в градуировочной камере, фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают ио формуле:

Р„.

t/,

Закрывают клапан. После этого в камере образцового манометра устанавливают такое давление Ро , чтобы манометр сравнения вновь зафиксировал значение Р (причем Ро и уже не может быть измерено непосредственно образцовым манометром). Тогда

t/o

Р

Ро.

и.

отсюда

Ui

I Р

Ро + Ui

Открывают клапан. Давление Р , фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают по формуле:

0 D: f/of/i

Р -

Ро

-P..

Ui + Ut

Ui -f f/2 Ut+ f/j

Сопоставляют расчетное значение давле П1я Р с сигналом градуируемого манометра.

Предмет изобретения

Способ динамической градуировки манометров низкого давления с помощью вакуумной

системы, содержащей три камеры, последовательно соединенные через отверстия с известными проводимостями: камеру с относительно высоким давлением, к которой подсоединен образцовый манометр, градуировочную камеру, к которой присоединены манометр сравнения и градуируемый манометр, и камеру низкого давления, связанную с вакуумным насосом, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности и упрощения процесса градуировки, вначале посредством клапана, помещенного в камере низкого давления, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по

манометру сравнения значение давления в градуировочной камере, затем закрывают это отверстие и понижают давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.

7/

10