Способ динамической градуировки манометров низкого давления Советский патент 1977 года по МПК G01L27/00 

(54) СПСХЗОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к способам для определения метрологических характерисик манометров.

Известен способ динамической грйдуи- g ровки манометров низкого давления, основанный: на расчётном понижении давления, происходящем при молекулярном течении газа через отверстия известной проводимости ij,

Известньй способ не обеспечшяет дос ю таточной точности градуировки.

Известен также способ динамической градуировки манометров низкого давления путем расчётного повышения давления в граду ИР овочной камере известного объема 15 во времени, происходящего при непрерывной подаче газа в камеру через диафрагму известной проводимости на соседней 1(;амеры с из у1еряемым более высоким давлением i: JT Недостатком способа является 20 низкая точность градуировки, обусловленная раличием неучитываемых побочных газовых процессов в градуировочной камере таких, как газовыделение со стенок камеры или внутри градуируемого манометра, в особен- 25

. ностн при высоком k сверхвысоком ваку.ме.

Цель изобретения - повышение точностте градуирсеки.

Это достигается тем, что после расчётного повышения давления в градунровочной камере известного объема, происходящего при непрерывной подаче газа в градуирсвочную камеру через;диафрагму известной проводимости из камеры с более высоким давлением по окончании повышения давления измеряют установившееся высокое давление в градуировочной камере, затем, откачивая её через другую диафрагму известной проводимости, понижают в ней давление. При этом измеряют промежутки времени, соответствующие двум одинаковым показаниям градуируемого манометра при повышении и при понижении давления, и по известным зависимостям определяют давление в градуир ОБ очной камере, соответствующее псясаза- ниям манометра.

На чертеже изображена вакуумная система предлагаемого способа градуировки манометров. Вакуумная система, реализующая предлагаемый способ градуировки манометров, вклю чает камеру 1 (известногх) объема ) с присоединением к ней градуируемым мано,метром 2. Через диафрагму 3 известной ма лой проводимости и камера jl соединена, с камерой исходного давления 4. В камеру 4 через натекатель 5 поступает градуировочный газ, давление которого измеряют образцовым манометром 6. Параллельно диафрагме 3 установлена другая диафрагма 7 такмю известной проводимости у (). Диафрап 1а 7 может быть герметично закрыта клапаном 8. К камере 4 через клапан 9 присоединен насос, отка. чиваюШий её до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с давлениями камбре 1, Предлагаемьй способ градуировки мано-. метров низкого давления состоит из следующей последовательности операций. После предварительной откачки камер 1 и 4 открывают натекатель 5, устанавливают некоторое постоянное давление Р газа в камере 4 и измеряют его маномет ром 6 (при закрытых клапанах 8 и 9). В процессе непрерывного повышения давления в камере 1 отсчитывают (или записывают) показания градуируемого манометра 2 во времени, начиная с некоторого момента i (при этом контролируют постоянство давле ния P ). , Давления Р газа в камере 1, соответ ствуюшие произвольным моментам времени t. , описываются уравнением -Jjld.-f J±-(.-i- ) о/ у О psp;.e ctV-t) Q - давление в момент времени in q, -суммарный псхгок сорбции, и десорбции газа в камере 1. Открывают клапан 8 и после устан жлени и измерения равновесного давления ТРд в камерах 1 и 4 закрывают, натекатель 5, Открывают клапан 9 и в процессе непре рывного понижения давления в камере JL от считывают (или записывают) показания градуируемого манометра 2 во времени. Давления Р газа в камере 1, соответвуюшие произвольным моментам времени -i . , описываются точным уравнегшем 1 (,. (trt;) . где Р - давление в начальньЙ момент времени t (момент открытия клапана 9).. Давления, соответствующие двум любык/ динаковым показаниям градуируемого маноетра, при повыщеиии давления и при пониении давления рассчитывают по формуле, полученной совместным решением уравнений (1) и (2), т.е. при допущении:; p pf Pt:jii при R;«Pii и : TC P.i Сопоставляют эти расчетные значения дав- ланий с соответствующими псжазашн ми градуируемого манометра 2.| Рассчитанные по уравнениям (3 и 4 значения давлений Р свободны от прогрбшноностей, связанных с юбочными процессами газоотделения в градуиреж очной камере и Е градуируемом манометре, что повышает точность градуировки Формула изобретения Способ динамической градуировкик4ганс метров низкого давления путем расчетного повышения давления в градуировочной камере известного объема, происходящего при непрерывной подаче газа в градуировочную

кямеру чгфез диафрагму известной проводимости нз камеры с измеряемым более высоким давлением, отличающийся тем, что, с целые повышения точности градуировки, по окончании повышения давления измеряют установившееся высокое давление в градуировочной камере, затем, откачивая её через другую диа41рагму известной проводимости, понижают в ней давление, при этом измеряют промежутки времени, соответствуюЩие двум одинаковым показаниям градуируек Газ

К насосу

мого манометра при повышении и при понижении давления, и по известным зависимостям определяют давление в градуирочочной камере,соответствующее показаниям манометра.

Источники информации, принятые во внимние при экспертизе:

2 Duif7rtiar,5., 6.G.P//if3 Rev.l 192O.

15. № 2, стр. 133-134.