Изобретение относится к области масс-спектрометрии.
Известные способы позволяют определить парциальный состав ионного пучка с точностью до отношения т/Е, т. е. ионы с разными массами и с разными зарядами, но имеющие одинаковое отношение т/Е, регистрируются как ионы одного сорта.
С целью определения парциального состава низкозарядных и высокозарядных ионов, в смешанном пучке используется явление вторичной ионно-электронной потенциальной эмиссии, вызываемой многозарядными ионами.
Сущность способа идентификации многозарядных ионов заключается в том, что коэффициент потенциальной эмиссии электронов пропорционален полной энергии его нейтрализации и нелинейно () зависит от заряда иона.
Определение парциального состава многозарядных ионов с одинаковым отношением т/Е достигается одновременным измерением тока ионов и тока вторичных электронов, которые затем сравниваются.
На чертеже представлена схема, с помощью которой реализуют предлагаемый способ.
Ионы, предварительно разделенные по отношению массы к заряду, замедляются до скоростей 5- 10 см/сек и попадают на коллектор / ионов. Под действием энергии нейтрализации ионов из материала коллектора ионов вырываются электроны, которые собираются на коллектор 2.
Приведенная схема коммутации позволяет производить измерение тока ионов и вторичных электронов как одновременно, так и поочередно. Сравнивая токи ионов и электронов, определяют коэффициент вторичной эмиссии в зависимости от заряда ионов.
Предмет изобретения
Способ идентификации многозарядных ионов, основанный на анализе ионов по величине отношения т/Е, отличающийся тем, что, с целью определения парциального состава ионов, имеющих одинаковое отношение т/Е, но различные по величине заряды, измеряют одновременно с током ионов ток вторичной потенциальной электронной эмиссии, которые затем сравнивают.
-г|--н|-i jp-ihHl-
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для исследования диэлектриков ионными пучками | 1979 |
|
SU776389A1 |
Способ создания многоступенчатой рекуперации энергии заряженных частиц и устройство для его реализации | 2018 |
|
RU2700583C1 |
Магнитронный масс-спектрометр | 1977 |
|
SU764011A1 |
Способ определения сечений ионизации положительных ионов релятивистскими электронами | 1982 |
|
SU1068855A1 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ИОНОВ МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ПЛАЗМЫ | 2023 |
|
RU2817394C1 |
Способ определения коэффициентов вторичной ионно-ионной эмиссии компонент образца из полупроводникового материала | 1982 |
|
SU1075331A1 |
Омегатронный масс-спектрометр | 1979 |
|
SU879677A1 |
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИОНОВ ОРГАНИЧЕСКИХ И БИООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В СВЕРХЗВУКОВОМ ГАЗОВОМ ПОТОКЕ, ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ РЕГИСТРАЦИИ И ТРАНСПОРТИРОВКИ ЭТИХ ИОНОВ В ПОСЛЕДУЮЩИЙ МАСС-АНАЛИЗАТОР | 2011 |
|
RU2474916C2 |
Способ определения коэффициентов вторичной ионной эмиссии компонентов образца | 1984 |
|
SU1211645A1 |
РЕКУПЕРАТОР ЭНЕРГИИ ПОЛОЖИТЕЛЬНО ЗАРЯЖЕННЫХ ИОНОВ | 2016 |
|
RU2617689C1 |
Авторы
Даты
1973-01-01—Публикация