УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕПАРИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ Советский патент 1974 года по МПК G01N1/36 H01J37/26 

1

Изобретение относится к технике нрепарирования объектов для электронномикроскоиического исследовалия IH может быть .использовано в вакуумных напылительных установках, снабженных газоразрядным устройством.

Известно устройство для закрепления и скола объектов, содержащее пред.метнып столик и ползун. Однако оно не позволяет проводить независимое травление обеих (комплементарных) поверхностей скола с последующим независимым нанесением реплик.

Целью изобретения является обеспечение независимого ионного травления комплементарных поверхностей объекта.

Цель достигается тем, что устройство содержит подвижный защитный экран, который перемещается вдоль пред.метного столика с помощью внещнего манипулятора.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 - его продольный разрез; на фиг. 6 схематически изображено устройство (для случая жидкого объекта при азотных температурах, около ) в различных стадиях работы.

Предметный столик 1 соединен резьбой с хладопроводом азотного стакана прибора для препарирования. С помощью винта 2, приводимого во вращение муфтой внещнего манипулятора и выведенного через вакуумное унлотнение наружу прибора, по направляющим

предметного столика может перемещаться 11-ооразпы 1 экран 6, экранируя объектодержатели 4 и о. ибъектодержатель и удерживаегся пружипящеп пластиной Ь. Один из ооъектодержателеп (-) связан гиокоп связью / со скалывающи.м устроиство.м, состоящим из рычагов б, спиральной пружины У, оси Ш. л стропстио с предварительно замороженным ооъекто.м (например, суспензия клеток)

номещают в разрядную камеру прибора, которая откачивается на высокий вакуум (исходное ноложение, фиг. 2 и фиг. 3, а). Но достижении высокого вакуума муфту внешнего манинулятора вводят в зацепление с винтом

2, вращение ее вызывает срабатывание пружинного механизма и скол; при этом объектодержатели устанавливаются на нредметном столике (на фиг. 3, б). Установив li-образный экран (фиг. d, в), производят напыление на

одну из комнлементарных поверхностей, другую подвергают травлению (фиг. 3, г) и напыляют на нее реплику (фиг. 3, д).

Предмет изобретения

Устройство для препарирования электронномикроскопических объектов на вакуумнонапылительной установке, снабл енной газоразрядным устройством с предметным столиком, отличающееся тем, что, с целью

обеспечения независимого ионного травления комплементарных поверхностей объекта, оно содержит подвижный защитный экран, установленный с возможностью перемещений вдоль предметного столика с помощью внещнего манипулятора.

1/

t/

f 3

j