КАТОД ДЛЯ РЕАКТИВНОГО РАСПЫЛЕНИЯ КРЕМНИЯ Советский патент 1974 года по МПК C23C14/34 H01J23/04 

Изобретение относится к области технологии полупроводниковых материалов и приборов. Кремниевые катоды используются в (устаiHOBKax реактивного распыления для получения тонких слоев двуокиси кремиия, нитрида кремния, легированных поликристаллнческих кремниевых слоев и пассивации поверхности полупроводниковых приборов. Известен катод ддя реактивного распыления, .представляющий собой графитовую основу, покрытую слоем кремния. Однако вследствие различных коэффициентов линейного расшире1 ия кремния и графита, а также различия температурной зависимости этих коэффициентов, такие катоды имеют трещины на поверхности и малый срок службы. С целью увеличения срока службы катода предлагают располагать между кремниевым слоем и графитовой основой промежуточный слой карбида кремния толщиной в 100-600 раз мепьще толщины кремниевого слоя. Обычно толщина слоя карбида кремния составляет 5-15 мкм. На чертеже показано устройство катода для .реактив ного распылеиия. Он дредставляет собой графитовлю основу /, промежуточный слой карбида кремния 2 и кремниевый слой .3. Образование промежуточного слоя карбида кре.мния осу1дествляют вплавлением тонкого слоя кремния (50-100 мкм) в графит или нанесением карбида кремния на графит из парогазовой фазы. Затем наносят слой кремния также из иарогазовой фазы. При расположении кремниевого слоя на промежуточпом слое карбида кремния получают свободный от трещим и напряжений кремниевый слой. Вследствие того, что слой кремния наносят из газовой фазы, графитовая основа покрывается кремнием со всех сторон, что исключает необходимость маскирования обратиой стороны кремниевого катода. Пснользование таких монолитных катодов в установках катодного распыления позволяет повысить их производительиость II выход годной продукции. Предмет изобретения 1.Катод для реактивного распыления кремния па графитовой основе, покрытой слоем кремния, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы, между слоем кремния и графитовой основой расположен промежуточный слой карбида кремния толщиной в 100-600 раз меньше толщины слоя кремния. 2.Катод по п. 1, отличающийся тем, что промежуточный слой карбида кремния имеет толщину 5-15 мкм.