1
Изобретение относится к области химического травления изделий.
Известно устройство для одностороннего травления плоских изделий, содержащее ванну с расположенной внутри нее пластиной с отверстиями для подачи травителя держатель изделия и нагнетающее приспособление.
Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что его нагнетающее приспособление выполнено в виде сильфона с приводом и смонтировано в дне ванны, а пластина с отверстиями жестко закреплена в дне ванны параллельно зеркалу травителя.
Это способствует повышению надежности устройства в работе.
На чертеже изображено предлагаемое устройство для одностороннего травления плоских изделий, общий вид.
Устройство состоит из ванны 1 с расположенной внутри пее пластиной 2 с отверстиями для подачи травителя, держателя 3 изделия 4 и нагнетающего приспособления, выполненного в виде сильфона 5 с приводом 6 и смонтированного в дне ванны. Пластина 2 с отверстиями жестко закреплена в дне ванны 1 параллельно зеркалу травителя.
В ванну 1 заливают необходимый травптель до требуемого уровня. После закрепления изделий 4 на держателе 2 включают привод 7 вращения изделий и привод 6 сильфона 5, в результате чего обеспечивается нагнетание травильного раствора па вращаемые приводом 7 изделия. При этом травптель продавлпвается сквозь отверстия и на обрабатываемую заготовку подается под давлением.
Предмет изобретения
Устройство для одностороннего травления плоских изделий, содержащее вапну с расположенной внутри нее пластиной с отверстиями для подачи травителя, дерл :атель изделия и нагнетающее приспособление, отличающ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устройства в работе, нагнетающее приспособление выполнено в виде сильфона с приводом и смонтировано в дне ванны, а пластина с отверстиями жестко закреплена в дне
ванны параллельпо зеркалу травителя.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для одностороннего травления плоских изделий | 1978 |
|
SU717152A1 |
Устройство для химического травления | 1990 |
|
SU1773947A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН | 1992 |
|
RU2073932C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРУЙНОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКОГО ИЗДЕЛИЯ | 2012 |
|
RU2488646C1 |
Кассета для травления,преимущественно печатных плат | 1979 |
|
SU856053A1 |
Устройство для отделения от подложки композитной структуры на основе полупроводниковой пленки (варианты) | 2018 |
|
RU2683808C1 |
Установка для паровой обработки полупроводниковых изделий | 1990 |
|
SU1830295A1 |
Устройство для жидкостной обработки плоских изделий | 1991 |
|
SU1827692A1 |
УСТРОЙСТВО для ОДНОПРОЦЕССНОГО ЭМУЛЬСИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ | 1968 |
|
SU222112A1 |
ЛИНИЯ ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 1987 |
|
RU1526562C |
Даты
1974-04-30—Публикация
1971-06-14—Подача