Устройство для химического травления Советский патент 1992 года по МПК C23F1/08 C25D17/00 

фиг. /

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектроники для изготовления плат тонкопленочных микросборок и может быть использовано в технологических блоках установок для травления пленочных слоев и структур.

Известно устройство для одностороннего травления плоских изделий 1, содержащее ванну с расположенной внутри нее пластиной для подачи травителя, держатель изделия и нагнетатель в виде сильфона с приводом.

К недостаткам известного устройства относятся сложность конструкции, возможность засорения отверстий пластин для подачи травителя веществами, выделяемыми в процессе травления.

Наиболее близким к изобретению является устройство для химического травления 2, содержащее съемный фиксатор пластин в гнездах зубчатых колес, выполненный в виде втулки с фланцем, установленный с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для перемещения рабочей жидкости, кроме того, устройство снабжено магнитами, герметично установленными в теле кассеты и на приводе один напротив другого.

Недостатки известного устройства: не обеспечивается качество травления, в связи с контактом пластин с фиксатором и гнездом зубчатых колес во время работы устройства;

возможность травления пластин только круглой формы определенного типоразмера.

Цель изобретения - повышение качества травления пленочных слоев и структур.

Цель достигается тем, что в устройстве для химического травления, содержащем цилиндрическую камеру с гнездом для заготовки и систему подачи рабочего раствора с напорной магистралью, гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателями в виде диска, установленными на торце выступа, при этом полость в выступе выполнена в форме усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим основа- нием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора.

Сопоставление с прототипом показывает, что предлагаемое устройство отличается тем, что гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателями в виде диска, установленными на торце выступа, при этом полость в выступе выполнена в форме

усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим основанием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора.

Таким образом, заявляемое техническое решение соответствует признаку новизны.

Известны технические решения, которые содержат отдельные отличительные

признаки предлагаемого устройства для химического травления. Однако свойства этих технических решений не совпадают со свойствами предлагаемого технического решения, обусловленными наличием

отличительных признаков, т.е. совокупность отличительных признаков в предлагаемом техническом решении создает новое свойство. Поэтому предлагаемое устройство соответствует признаку существенных

отличий.

На фиг.1 изображена камера для травления; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Устройство для химического травления содержит цилиндрическую разъемную камеру 1, соединенную напорной магистралью 2 с системой подачи рабочего раствора. Соосно полости 3 на верхнем торце гнезда 4, выполненного в виде цилиндри- ческого выступа, с помощью

дистанционных втулок 5 закреплен отражатель б, а по периферии верхнего торца гнезда размещены цилиндрические упоры 7, на которых устанавливают заготовку 8.

Устройство работает следующим образом.

Заготовку 8 устанавливают на упоры 7 гнезда 4 и закрывают камеру 1. По напорной магистрали 2 в камеру 1 системой подачи рабочего раствора подается раствор для

травления. В полости 3 создается избыточное давление раствора, который плоским круговым потоком, сформированным отражателем б и дистанционными втулками 5, заполняет камеру 1.

Истекающий поток раствора, имея большую скорость движения, захватывает молекулы воздуха, находящиеся под нижним торцом заготовки 8, что приводит к воз- никновению разрежения. Заготовка 8

прижимается к упорам 7 гнезда 4. Ф о р м у л а и з о б р ет е н и я Устройство для химического травления, содержащее цилиндрическую камеру с гнездом для заготовки и систему подачи рабочего раствора с напорной магистралью, отличающееся тем, что, с целью повышения качества травления, гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателем

диска, установленными на торце выступа, при этом полость в выступе выполнена в форме усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим

основанием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора.

Использование: изготовление тонкопленочных микросборок. Сущность изобретения заключается в том, что заготовку 8 устанавливают на упоры 7 гнезда 4 и закрывают камеру 1. По напорной магистрали 2 в камеру 1 подают рабочий раствор, при этом в полости 3 создают избыточное давление раствора, который плоским круговым потоком, сформированным отражателем 6 и дистанционными втулками 5, заполняет камеру 1. Поток рабочего раствора, имея большую скорость движения, захватывает молекулы воздуха, находящиеся под нижним торцом заготовки 8, что приводит к разрежению и фиксации заготовки 8 к упорам 7 гнезда 4. 2 ил.

Фиг2