СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ Советский патент 1974 года по МПК H03H9/19 H03B5/32 

1

Изобретение относится к радиотехнике.

Известны способы изготовления резонаторов, например герметизированного резонатора и пьезоэлектрического фильтра, при которых пьезоэлектрический элемент с нанесенными серебряными контактами и электродами припаивают к металлической проволочной арматуре.

Однако после пайки в местах соединения остаются напряжения, которые передаются на пьезоэлектрический элемент; устранить их известными способами, например изменением режимов термостабилизации, невозможно, так как при воздействии температуры изменяется структура материала электрода - происходит процесс рекристаллизации серебра и металл покрывается окисной пленкой.

Отмеченные вредные преобразования в пьезоэлектрическом элементе искажают выходные электрические параметры резонатора и возникает необходимость его настройки.

Кроме того, соединение пайкой возможно при условии смачиваемости флюсом электрода; для защиты от вредного воздействия флюса производят промывку в горячей, холодной воде и спирте, что ириводит к образованию налета испаряющихся компонентов на электродах. Настройка готового прибора до расчетного параметра приводит к многослойному покрытию электродов, вредные окисные пленки и налет уменьщают адгезию слоев между собой и кварцевой пластиной.

Целью изобретения является стабилизация электрических параметров резонаторов и упрощение технологического процесса.

Для этого нанесение электродного покрытия на пьезоэлемент производят после монтажа его в проволочную арматуру.

После температурной стабилизации собранного узла на кварцевую пластину наносят металлические электроды и снова термостабилизируют. Таки.м образом устраняются напряжения и деформации, а также влияние дестабилизирующих факторов, полученных в процессе изготовления, и отпадает операция настройки готового резонатора.

Сборку пьезоэлектрической кварцевой пластины производят в приспособлении с проволочной арматурой резонатора, обеспечивающем постоянство расположения оптической оси кварцевой пластины. Монтаж производят известны.ми способами мягкими припоями.

После монтажа собранный узел немедленно промывают последовательно в горячей, холодной воде, спирте и термостабилизируют в туннельной печи при г; 180°С в течение 6 час.

Нанесение электродов производят в вакууме с высокой степенью точности: 3 -геометрической формы при помощи специальиой пластмассовой маски (собранный узел вставляют в паз маски, базируют на коптур кварцевой пластины и закрепляют); -по толщине при помощи контроля иро-5 цесса напыления известными снособами, например способом, который применяют при окончательной настройке резонатора; после нанесения электродов узел термостабилизируют при в течение 2 час.10 Все это приводит к повыщеиию коэффициента выхода годных приборов. 4 Предмет изобретения Способ изготовления кварцевых резонаторов, включающий нанесение электродного покрытия на цьезоэлемент кварцевого резонатора и монтаж его в проволочную арматуру с последующей термостабилизацией, отличающийся тем, что, с целью стабилизации электрических параметров резонаторов и унрощения технологического процесса, нанесенне электродного покрытия на пьезоэлемент производят после монтажа его в проволочную арматуру.