Устройство для измерения скорости напыления Советский патент 1974 года по МПК G01N25/14 

1

Изобретение относится к технологии изготовления тонкопленочных интегральных микросхем, в частности к методам контроля параметров техпроцесса напыления в вакууме.

Известно устройство для измерения скорости напыления, в котором частицы испаряемого вещества, попадая на чувствительный элемент (термопару), не осаждаются на нем, так как он нагрет до температуры, выше температуры испаряемых частиц. Испаряемые частицы вещества лишь понижают температуру термопары.

Недостаток этого устройства состоит в том, что оно реагирует одновременно на плотность потока испаряемых частиц и изменение степени вакуума. При этом термо-э.д.с., возникающая за счет изменения степени вакуума, является паразитной. Складываясь с термоэ.д.с., возникающей при изменении скорости напыления, она вносит погрещность в точность измерения последней.

Цель изобретения - разработка устройства, позволяющего скомпенсировать термоэ.д.с., возникающую при изменении степени вакуума в рабочем объеме, и повышение точности измерений.

Эта цель достигается применением дополнительной (второй) термопары, не подверженной воздействию потока испаряемых частиц и включенной встречно с первой.

На фиг. 1 показана схема предлагаемого

устройства; на фиг. 2 - конструктивное расположение измерительных элементов.

Индентичные высокотемпературные термопары 1 и 2 (например, вольфрамо-рениевые, вольфрамо-вольфраморениевые и др.) размещены на верхней плите 3 подколпачного устройства рядом с подложкой 4, закрепленной в подложкодержателе 5. Выводы термопар соединены по схеме, изображенной на фиг. 1.

Термопара 2 защищена от потока испаряемых частиц экраном 6. Обе термопары нагреты до 2000-2500°С от стабилизированного источника 7 питания. Для установки на «О показаний регистрирующего прибора при отсутствии потока испаряемых частиц в цепь питания термопары 2 включен реостат 8.

Устройство для измерения скорости напыления работает следующим образом. Испаритель с испаряемым веществом прогревают в вакууме в течение установленного времени при закрытой заслонке 9. Перед напылением стрелку измерительного прибора 10 устанавливают на «О с помощью реостата 8. Производят напыление. Величина термо-э.д.с.,

регистрируемая измерительным прибором, определяется только скоростью Напыления.

Пред мет. изобретения

Устройство для измерения скорости напыления, содержащее высокотемпературную термопару, стабилизированный источник питания

и измерительны блок, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, устройство снабжено защищенной экраном от потока испаряемого вещества дополнительной высокотемнературной термопарой, включенной встречно с первой термопарой.

vz1

.

Ж

2 /

5

//.

v

fpve.Z