СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ Советский патент 1971 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для контроля скорости осаждения тонких слоев на подложку.

Известны способы измерения скорости испарения в вакууме, основанные на регистрации количества испаряемого вещества, осевшего на измерительный элемент.

Однако точность измерения этих способов зависит от коэффициента конденсации испаряемого вендества, который, в свою очередь, изменяется в зависимости от условий испарения.

По предлагаемому способу для повышения точности измерения в качестве измерительных элементов используют термочувствительные элементы, помещенные на различном удалении от испарителя, и регистрируют разность их показаний.

В двух сечениях потока испаряемого вещества на разном удалении от испарителя помещают термочувствительные элементы, например термопары, соединенные по дифференциальной схеме. Энергия частиц испаряемого вещества, осевших на спай термопары превращается в тепловую, за счет чего возникает (термо-э.д.с.) термопары.

Для любого момента времени термо-э.д.с. тер.люпар зависит от теплового баланса термопар, работающих в вакууме, с учетом потерь тепловой энергии за счет теилопроводности контактов п излучения. Влияние на разность термо-э.д.с. термопар различных составляющих, за исключением составляющей, зависящей от нагрева осажденными частицами, может быть исключено, например, с помощью компенсации от внешнего источника постоянного тока.

На тер.мопарах, расположенных на неодинаковом расстоянии от испарителя, оседает разное количество вещества, поэтому нагрев, а следовательно, и термо-э.д.с. термопар будут различны. Эта разность термо-э.д.с. тер.мопар, пропорциональная скорости испарения вещества, измеряется прибором, отградуированным по скорости испарения.

Предмет изобретения

Способ измерения скорости испарения в вакууме, основанный на регистрации количества испаряе.мого вещества, осевшего на измерительный элемент, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения, в качестве измерительных элементов используют тердючувствптельные элементы, помещенные на различном удалении от испарителя, и регистрируют разность их показаний.