Алмазно-абразивная паста Советский патент 1974 года по МПК C09G1/02 

1

Изобретение касается составов для полирования, в частности паст для полирования полупроводниковых материалов.

Известны алмазно-абразивные пасты, в состав которых входят стеарин и жиры или различные масла.

Однако наличие жиров и масел в этих пастах затрудняет отмывание деталей после их обработки от шлама и пасты. Кроме того, наличие большого числа компонентов в пасте делает ее малоустойчивой, как химическая система.

Целью изобретения является повышение чистоты поверхности при обработке полупроводниковых материалов.

Это достигается тем, что в состав пасты введен поверхностно-активный смачиватель ОП-7, компоненты входят в следуюш,ем составе, вес. %:

порошок

2,5- 7,5 45 -50 42,5-52,5.

Предмет изобретения

Алмазно-абразивная паста для полирования, содержащая алмаз и стеарин, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с пелью повышения устойчивости системы, а также повышения чистоты поверхности при обработке полупроводниковых материалов, в нее введен поверхностно-активный смачиватель ОП-7, и все компоненты входят в следуюш,ем составе, вес. %: Алмазный порошок2,5- 7,5

Стеарин45 -50

ОП-742,5-52,5.