Рентгеновский микрозондовый анализатор Советский патент 1974 года по МПК G01N23/20 

Изобретение относится к уикрозондовш рвшгеновским анализатораы и иовех найти приыенецив в тех областях техники, где требуется знание характере распределения концентрации в твердом теле и,в частности, распределение концентрации диффузанта в диффузионной зоне матрицы. Известны ыикрозовдовые рент геновские анализаторы, с помощью которых создается сфокусированный на изучаемой поверхности пучок ускоренных злектронов и производится анализ рентгеновского излучения, возбуядаемого этим , либо выявляется характер изменения интенсивности выбранной спектральной линии в зависимости от положения элэкт ронного пучка на изучаемой поверхности. Известное устройство состоит из вакуумной камеры, внутри которой размещены устройс ва для получения сфокусированного электронного пучка, держатель исследуемого- объекта, гониометрическое устройство для крепления кристалл-анализатора рентгеновского излучения и детектора ИНТ6ЫСИВНОСТК линий рентгеновского спектра, механический счетчик, связанный с кристалл-анализатором, показания которого проградуированы в длинах волн, привод устройства для измерения положения кристалл-анализатора и детектора вручную - при помощи ручки настройки или мотором устр01г1ства для перемещения пучка ускоренных электронов по изучаемой поверхности, устройств для регистрации изменения интенсивности выбранной линии (в зависимости от положения пучка ускоренных электронов на изучаемой поверхности), устройств для поддержания вакуума в рабочей камыере, многоканальных самописцев И источников элбкхропитания эо@х узлов в известных усхройст ах вб учитывается возиожность изивнения длины волны характеристичеокого спектра в результате изуенеНИЯ электронного состояния afOlfOB в присутствйш сторонних атомоБ. Целью изобретения является устранение этого недостатка и, следовательно, повышение точност и надежности информации, выдававмри микроанализаторои, а также получение дополнительных сведений об изменении электроаиого состояния диффуаанта. Поставленная цель достигается тем, микроаыализатор снабжен устройством, ПОЗВОЛЯЮ1ЩШ изменять положение кристалл-анализатора и детектора интенсивности выбранной спектральной линии сишс ронно с изменением длины волны этой линии В качестве такого устройства ыожет быть использована система, изменяющая положенив кристалланализа-гора и детектора в соответствии с изменением длины волны излучаемой регистрируемым злементом. На чертеже приведена схема предложенного рентгеновского микроанализатора. Перед выполнением анализа в ,1акуум11ой камере I вместо образда 2 устанавливается зталонный образец. В эталонном образце под воздействием злектронного пучка возоуждается рентгеновское харак теристическое излучение, на определенную длину волны которого настраивается ручкой 3, либо мото ром 4 кристалл-анализатор 5 и де Гектор 6 таКд чтобы интенсиметр 7 и самописец 8 регистрировали максимальную интенсивность, фиксируе йую детектором 6, После зтого эталонный образец заменяется иссл дуемым образцом. Включается систе ма, состоящая из усилителей 9 и 10, блока II сравнения сигналов индикатора разбаланса 12, системы реле 13, при этом система реле 13 отключает в интенсиметре V блок пересчетного устройс::ва для рагисафации числа ивдльсОв, поступающих о детектора б, и отк лючает самописец 8, но включает Hosop 4, который изменяет положе ние кристалл-анализатора 5 и детектора б. При перемещении кристалл-анализатор и детектор роходат через положение характеизующееся точной настройкой на ребуемую длину волны спектральой линии. В положении точной настройки интенсивность излучения иксируемая детектором, имеет аксимальную величину. Сигнал, оступающий в детектора в виде импульсов, в интенсиметре на индикаторе интенсивности преобразуется в напряжение постоянной полярности о амплитудой, меняющейся в соответствии с изменением сигнала от детектора. Преобразованный сигнал подается на входы усилителей 9 и 1и В усилителе 9 на накопительном элементе (например, емкости) в моментперехода кристалл-анализатором 5 и детектором 6 в по.лОжение точной настройки создается напряжение, соответствующее максимальному сигналу, Максимальное напряжение в усилителе 9 сохраняется с помощью злектронного реле в течение времени, достаточного для точной регистрации интенсивности излучений. Напряжение в усилителе 10 меняется в зависимости от изменения сигнала интенсиметра 7. Выходные сигналы с усилителей 9 и 10 поступают на блок сравнения II, выполненный, например, в виде электронного моста. Сигнал разбаланса через индикатор разбаланса 12 с помощью системы реле 13 включает мотор 4, обеспечивая его вращение в такую сторону, чтобы на индикаторе разбаланса создался минимальный по величине сигнал, т.е. осуществляется точная настройка кристалл-анализатора на требуемую длину волны. При сигнале разбаланса минимальной величины система реле 13 выключает на задан ный промежуток времени мштор 4, включает блок пересчетного устройства интенсиметра 7 и самописец 8, Производится регистрация интенсивности излучения образца. ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Рентгеновский микрозондовый ана лизатор, содержащий вакуумную каме ру с устройством для формирования злектронного зонда и держателем исследуемого материала, гониомвтоичвское устройство с кристалланализатороу и детектором, механизм перемещения здвктронного зонда, интенсиметр и электронную схему

регистрации, отличающийся тем, что, с целью повышения точ ности анализа, он снабжен устройством настройки, состоящим из блока сравнения сигналов интвнсиыетрс при изменении длины волны спектральной линии и исполнительного приспособления.