Способ изготовления мишени накопительной электроннолучевой трубки Советский патент 1974 года по МПК H01J9/20 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ НАКОПИТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ

1

Изобретение относится к способу изготовления мишеней накопительных электронно-лучевых трубок.

Известен способ изготовления мишени накопительной трубки. Он состоит в том, что предварительно обезгаженным путем вакуумной откачки глицерином заполняют ячейки поддерживающей металлической сетки. Для затвердевания глицерина систему охлаждают с помощью жидкого азота. Затем методом,термического испарения наносят сплощную пленку алюминия, служащую сигнальной пластиной мишени. Выпаривают глицерин в специальной вакуумной камере, после чего наносят накопительный слой.

Однако этот метод имеет ряд недостатков.

Вязкость глицерина изменяется от партии к партии, что приводит к изменению условий заполнения ячеек сетки и влияет на последующее удаление глицерина. Не полностью удаленный глицерин создает на поверхности сигнальной пластины пятна и разводы, что отрицательно сказывается на передаваемом изображении и воспроизводимости результатов от партии к партии.

Кроме того, использование глицерина требует точного дозирования количества этого материала, контроля температуры и степени его затвердевания.

С целью повыщения механической прочности мишени и повышения ее воспроизводимости ячейки металлической сетки заполняют низкомолекулярным органическим соединением, способным образовывать пленку, например поливиниловым спиртом, а металлический слой наносят методом распыления материалов в плазме газового разряда низкого давления. После этого органическую пленку удаляют, например, растворением и наносят накопительный слой.

Применение воднорастворимого органического соединения позволяет избежать таких операций, как обезгаживание вакуумной откачкой и охлаждения с помощью жидкого азота. Кроме того, отпадает необходимость контроля температуры и степени затвердевания заполнителя в виду его способности образовывать пленку.

На чертеже схематически представлен разрез мищени накопительной трубки.

В качестве основы мишени накопительной трубки используют мелкоструктурную металлическую сетку 1, натянутую на кольцо, с

размером ячейки 30 мк.

Заполнение ячеек 2 сетки производят на оправке, представляющей собой цилиндр с электрополированным торцом из стали 1Х18Н9Т, диаметр которого на 0,05-0,07мм

меньше внутреннего диаметра кольца мишени. На поверхность этого торца наносят 4-5 капель 10%-ного водного раствора низкомолекулярного поливинилового снирта, после чего сверху накладывают кольцо с натянутой на него сеткой. Вращением кольца в одну сторону вокруг вертикальной оси производят равномерное заполнение всех ячеек сеткн. Оправку с сеткой помещают в термостат, где выдерживают при температуре 120-150°С в течение 20-30 мин до образования пленки поливинилового спирта.

Сигнальную пластину 3 для увеличения прочности сцепления с сеткой наносят методом ионно-плазменного распыления в камере установки, собранной но трехэлектродной схеме.

Время напыления сигнальной пластины равно 1,5-2 мин.

Напряженность магнитного поля в области мишени 120 Э.

Сетку с нанесенной сигнальной пластиной выдерживают в высоком вакууме для остывания пленки до 20-25°С, после чего технологическую камеру развакуумируют.

Пленку из поливинилового снирта удаляют из ячеек сетки растворением в дистиллированной воде при температуре в течение 25-30 мин.

Кольцо с сеткой снимают с оправки и выдерживают в термостате в течение 10-20 мин при температуре 120-150°С.

Накопительный слой 4 наносят любым известным способом.

Можно применить и другие низкомолекулярные полимеризующие вещества, легко растворимые не только в воде, но и других жидкостях.

Предмет -изобретения

Способ изготовления мишени накопительной электронно-лучевой трубки, предусматривающий нанесение металлического слоя на удаляемую подложку, выполненную из органического материала, отличающийся тем, что, с целью повышения механической прочности мишени и повышения ее воспроизводимости, ячейки опорной мембраны, выполненной из металлической сетки, заполняют легкорастворимым органическим соединением, способным образовывать пленку и не просачиваться сквозь ее ячейки, например, типа поливинилового спирта, напыляют на сетку сплошную металлическую пленку необходимой толщины путем распыления в плазме газового разряда низкого давления, а органическую подложку растворяют.