Травитель полиимида Советский патент 1974 года по МПК G03C5/48 

1

Изобретение относится к области пленочной микроэлектроники и может быть использовано при создании переходных отверстий в полиимидной пленке для многослойной разводки.

Известен травитель полиимида на основе гидразин-гидрата, обеспечивающий достаточную равномерность травления, однако, невысокая скорость травления приводит к разрушению защитной пленки фоторезиста, если толщина полиимидной пленки превышает 30 мкм, что приводит к подтравливанию элементов.

С целью увеличения скорости процесса травления и повышения качества вытравливаемых фигур в предлагаемом травителе полиимида на 16-20 вес. ч. гидразин-гидрата добавляют 1-2 вес. ч. щелочи, например едкого калия. Травитель не разрушает защитной пленки фоторезиста, используемой в качестве маски в процессе травления, и одновременно улучшает качество вытравливаемых фигур в полиимиде за счет увеличения скорости травления, которая составляет 24 мкм/ /мин при 60-70°С (по сравнению с 2 мкм/мин в чистом гидразин-гидрате).

Пример. На чертеже показан график зависимости скорости травления полиимида от температуры в травителе 1 гидразин-гидрат 16-20 вес. ч., едкий калий 1-2 вес. ч.; в травителе 2 гидразин-гидрат.

Кривые I и П соответствуют изменению скорости травления полиимида от температуры в травителях 1 и 2.

Скорость травления полиимида в травителе 1 выше скорости травления в гидразингидрате в 8-10 раз. Время травления полиимида в травителе 1 при 60°С - 1,5-2 мин, причем фоторезистивная маска не разрушается, а время травления в гидразин-гидрате 10 мин, причем наблюдается частичное разрушение пленки фоторезиста.

Предмет изобретения

Травитель полиимида на основе гидразингидрата, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости процесса травления и повыщения качества вытравливаемых фигур, на 16-20 вес. ч. гидразин-гидрата добавляют 1-2 вес. ч. щелочи, например едкого калия.

,- 446870