Изобрегение огнсхзигся к кснтропьноизмеригепьной технике, предаазначено для кштроля формы выпуклых сферических поверхностей и может быть использовано в прсжзвоцргве, занятом изготовлением преимущественно крупногабаритных оптических иеталей. Известно устройство для контроля фор мы Выпуклых и вогнутых сферических поверхностей, Ьооержащее столик яля размещения контролируемой детали, пробное стекло, приспособление для его установки на контролируемую поверхность к регистратор интерференционной картины 1 |. Недостатком устройства ясвляется низкая точность fe гфоизводи тельность контроля, отелов ленная тем, что поверх- ность контролируется по частям методом переналожения npofepro стекла. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля-фор в,1 выпуклых Ьфёрических поверяюстей лешз большого (Шаметра, содержащий светоделитель, источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходаг от источника телескопическую систему, объектив, вогнутое сферическоге зеркало устанавливаемое кокцентрично контролируемой поверхности линзы с возможностью перемещения вдоль опгаческой оси, и регистратор интерференцишнрй картины. Светоделитель расположен в ходе лучей за телескопической системой С. Недостатком интерферометра является его сложность, обусловленная необходимостью применения в каждом конкретном с}учвв контроля специального компенсатора. Цель изобретения - упрощение интерферометра. Указанная цель достигается тем, что, в интерферометре для контроля формы выгогклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащем светоделитель, ИСТОЧНИК монохроматического излучеяпя расположенные последовательно по ходу иэдучения от источника телескопическую систему, обьекгив, вогнутое сферическое зеркало, устанавливаемое концентрично контролируемой поверхности лин зы g возможностью перемшцения вцоль оптической оси, и регистратор интерферен ционной картинку светоделитель расположен в ходе дучей за объективом, ние S от фокуса обьектива до вогнутого сферического зеркала определяется зависимостью (1) « -5где Ap-Pi-fi Pz, Р - крФизна контролируемой и неконтролируемой поверхности линзы, соответственно;о - кривизна сферического зеркала; в - толщина линзы по оптической оси; V, - показатель преломления материала линзы для дли . ны волны Д. испольдуемого излучения:; . а минимально допустимая кривизну P wi-fv, сферического зеркала определяется, зависимостью8/0л9-4 Ръути-- г Л и дБ/Н Ыта где D - светской диаметр линвь максимально допустимая по-. грешность контроля, выраженная в длинах волн из; чения; e-VD%4|pi / Л)лр()(Ид..) .gp. ,.. На чертеже приведена оптическая схем интерферометра. Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, выполненный в виде лазера 1, телескопическую систему 2, обьектив 3, светоделитель 4, вогну тое сферическое зеркало 5 и регистратор 6 интерференционной картинь линду 7, выпуклая поверхность 8 которой контроли руется, распологаемую между сЬетоцелите лем 4 и сферическим зеркалом 5 так, что ее неконтролируемая поверхность. 9 обоащена к светоделителю 4, Сферическое зеркало 5 устанавливается кондентрично контролируемой поверхно ти 8 линзы 7 с возможностью перемеения вдоль оптической оси. Интерферометр работает следукяцим ок бразом. Пучок света от лазера 1 проходит теескопическую систему 2, 5бьектив 3, ветоделитель 4, неконтролируемую поерхность 9 линзы 7 и падает на ее онтролируемую поверхность 8. Отраженая от Контролируемой поверхности 8 линзы X пучка света представляет собой рабочий волн№ой фронт, а прошедшая ерез поверхность 8 часть пучка - врпновой сравнения. После отражения от вогнутого сферического зеркала 5 волновой фронт сравнения интерферирует с рабочим волновым фронтом на контро- . лируемой поверхности 8 дагнды 7 и поступает в регистратор 6 интерференционной картины. Цена KVI интерференционной полосы для данного интерферометра определяется следующим выражением -.г Упрощение интерферометра достигается за счет использования вогнутого сфе- рического зеркала, кривиетса которого определяется выражением (2). Коэффициент А S в выражении (2) . . представляет собой продольную сферическую абберацию пучка лучей, преломленных неконтролируемой поверхностью 9 линзы 7 в прямом ходе. Благодаря тому, что интерферометр построен по схеме с совмещенными ветвями, Т(5ебования к точности изготовления его оптических элемент(ЗЬ (за исключением вогнутого сферического зеркала 5), а также к одаородности материала линзы 7 и кточности изготовления ее неконтролируемой поверхности 9, невысоки, что позволяет поместить светоделитель 4 в расходящемся пучке Д}гчей за объективом 3. Последнее обстр ятельство. благоприятно сказывается на качестве получаемой интерференционной картины, поскотяьку в этом сдучае значительно уменьшается количество рассеянного издучения, попадающего в регистратор 6. Выражение (1), связывающее расстояние S от обьектива 3 до вогнутого сферического зеркала 5 с параметрами линзы 7, получено из условия HOI мального падения пучей света на параксиальную зсдау кадтролируемой поверхности 8 линзы 7.
Авторы
Даты
1982-07-23—Публикация
1980-07-09—Подача