Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 

Описание патента на изобретение SU945642A1

Изобрегение огнсхзигся к кснтропьноизмеригепьной технике, предаазначено для кштроля формы выпуклых сферических поверхностей и может быть использовано в прсжзвоцргве, занятом изготовлением преимущественно крупногабаритных оптических иеталей. Известно устройство для контроля фор мы Выпуклых и вогнутых сферических поверхностей, Ьооержащее столик яля размещения контролируемой детали, пробное стекло, приспособление для его установки на контролируемую поверхность к регистратор интерференционной картины 1 |. Недостатком устройства ясвляется низкая точность fe гфоизводи тельность контроля, отелов ленная тем, что поверх- ность контролируется по частям методом переналожения npofepro стекла. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля-фор в,1 выпуклых Ьфёрических поверяюстей лешз большого (Шаметра, содержащий светоделитель, источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходаг от источника телескопическую систему, объектив, вогнутое сферическоге зеркало устанавливаемое кокцентрично контролируемой поверхности линзы с возможностью перемещения вдоль опгаческой оси, и регистратор интерференцишнрй картины. Светоделитель расположен в ходе лучей за телескопической системой С. Недостатком интерферометра является его сложность, обусловленная необходимостью применения в каждом конкретном с}учвв контроля специального компенсатора. Цель изобретения - упрощение интерферометра. Указанная цель достигается тем, что, в интерферометре для контроля формы выгогклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащем светоделитель, ИСТОЧНИК монохроматического излучеяпя расположенные последовательно по ходу иэдучения от источника телескопическую систему, обьекгив, вогнутое сферическое зеркало, устанавливаемое концентрично контролируемой поверхности лин зы g возможностью перемшцения вцоль оптической оси, и регистратор интерферен ционной картинку светоделитель расположен в ходе дучей за объективом, ние S от фокуса обьектива до вогнутого сферического зеркала определяется зависимостью (1) « -5где Ap-Pi-fi Pz, Р - крФизна контролируемой и неконтролируемой поверхности линзы, соответственно;о - кривизна сферического зеркала; в - толщина линзы по оптической оси; V, - показатель преломления материала линзы для дли . ны волны Д. испольдуемого излучения:; . а минимально допустимая кривизну P wi-fv, сферического зеркала определяется, зависимостью8/0л9-4 Ръути-- г Л и дБ/Н Ыта где D - светской диаметр линвь максимально допустимая по-. грешность контроля, выраженная в длинах волн из; чения; e-VD%4|pi / Л)лр()(Ид..) .gp. ,.. На чертеже приведена оптическая схем интерферометра. Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, выполненный в виде лазера 1, телескопическую систему 2, обьектив 3, светоделитель 4, вогну тое сферическое зеркало 5 и регистратор 6 интерференционной картинь линду 7, выпуклая поверхность 8 которой контроли руется, распологаемую между сЬетоцелите лем 4 и сферическим зеркалом 5 так, что ее неконтролируемая поверхность. 9 обоащена к светоделителю 4, Сферическое зеркало 5 устанавливается кондентрично контролируемой поверхно ти 8 линзы 7 с возможностью перемеения вдоль оптической оси. Интерферометр работает следукяцим ок бразом. Пучок света от лазера 1 проходит теескопическую систему 2, 5бьектив 3, ветоделитель 4, неконтролируемую поерхность 9 линзы 7 и падает на ее онтролируемую поверхность 8. Отраженая от Контролируемой поверхности 8 линзы X пучка света представляет собой рабочий волн№ой фронт, а прошедшая ерез поверхность 8 часть пучка - врпновой сравнения. После отражения от вогнутого сферического зеркала 5 волновой фронт сравнения интерферирует с рабочим волновым фронтом на контро- . лируемой поверхности 8 дагнды 7 и поступает в регистратор 6 интерференционной картины. Цена KVI интерференционной полосы для данного интерферометра определяется следующим выражением -.г Упрощение интерферометра достигается за счет использования вогнутого сфе- рического зеркала, кривиетса которого определяется выражением (2). Коэффициент А S в выражении (2) . . представляет собой продольную сферическую абберацию пучка лучей, преломленных неконтролируемой поверхностью 9 линзы 7 в прямом ходе. Благодаря тому, что интерферометр построен по схеме с совмещенными ветвями, Т(5ебования к точности изготовления его оптических элемент(ЗЬ (за исключением вогнутого сферического зеркала 5), а также к одаородности материала линзы 7 и кточности изготовления ее неконтролируемой поверхности 9, невысоки, что позволяет поместить светоделитель 4 в расходящемся пучке Д}гчей за объективом 3. Последнее обстр ятельство. благоприятно сказывается на качестве получаемой интерференционной картины, поскотяьку в этом сдучае значительно уменьшается количество рассеянного издучения, попадающего в регистратор 6. Выражение (1), связывающее расстояние S от обьектива 3 до вогнутого сферического зеркала 5 с параметрами линзы 7, получено из условия HOI мального падения пучей света на параксиальную зсдау кадтролируемой поверхности 8 линзы 7.

Похожие патенты SU945642A1

название год авторы номер документа
Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей 1980
  • Пуряев Даниил Трофимович
SU1026002A1
Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей 1980
  • Шандин Николай Сергеевич
  • Мамонов Станислав Кириллович
  • Вячин Валерий Васильевич
SU911144A1
Интерферометр для контроля вогнутых сферических поверхностей 1980
  • Пуряев Даниил Трофимович
  • Лазарева Наталия Леонидовна
SU920367A1
Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей 1986
  • Пуряев Даниил Трофимович
  • Романов Александр Михайлович
SU1368623A1
Интерферометр для контроля формы сферических поверхностей линз 1982
  • Лазарева Наталия Леонидовна
  • Пуряев Даниил Трофимович
SU1068699A1
Интерферометр для контроля качества высокоапертурных вогнутых сферических поверхностей 1978
  • Пуряев Даниил Трофимович
  • Лазарева Наталия Леонидовна
SU706689A1
Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей 1985
  • Бубис Исак Яковлевич
  • Кузнецов Алексей Иванович
  • Хорошкеев Владимир Борисович
SU1359663A1
Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей оптических деталей 1985
  • Тарханов Владимир Иванович
SU1249322A1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ 1973
  • Витель Д. Т. Пур Н. Л. Лазарева
SU373519A1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВЫПУКЛЫХ, ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ И ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ 2004
  • Симонова Г.В.
RU2255307C1

Иллюстрации к изобретению SU 945 642 A1

Реферат патента 1982 года Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра

Формула изобретения SU 945 642 A1

SU 945 642 A1

Авторы

Пуряев Даниил Трофимович

Дягилева Алевтина Васильевна

Лазарева Наталия Леонидовна

Фомин Олег Николаевич

Горшков Владимир Алексеевич

Воронина Валентина Ивановна

Даты

1982-07-23Публикация

1980-07-09Подача