Изобретение относится к методам автоионной микроскопии твердщх тел и может быть использовано при изучении адоорбционно-десорбционных;. процессов. Известен способ анализа частиц на поверхности твердого тела с помощью автоионного микроскопа с масс-спектрометрической приставкой-зондом, который позволяет определять вид частицы путем ее испарения полем и последующего анализа во времяпролетной трубке.По времени между двумя импульсами на детекторе судят об отношении массы испаренного атома / молекулы, комплекса / к его заряду.Однако этот способ не позволяет определить тип нескольких чаотид, расположенных в разных местах и имевшщх различную энергию связи с поверхностью твердого тела, так как испарящий импульс приводит к одновременному удалению с поверхности не только зондируемых частиц Цель изобретения-определение типа нескольких частиц, расположенных на поверхности твердого тела. Цель достигается тем,что потенциал обпззпа
изменяют ступенчато от значения соответствующего условиям наилучшего отображения8 до значения, соот ветствующего полевому испарению, увеличивая его прирост на одну ш оу же величину и понижая всякий раз до исходного значения, при котором всякий раз фиксируют автоионное изображение, сущность изобретения поясняет схема, представленная на чеда теже. На схеме 1,2,3,4,5,..., п-1-импульсы потенциала, отличающиеся друг от друга на величину, кратную 4 с/-приросту потенциала; Up- потенциал наилучшего отображения: 1/исп. Un- -максимальный испаряющий потенциал; , . - кадры регистрации изображения в исходном состоянии. Способ осуществляется в следующем порядке, начиная с калибровки системы. В систему автоионного микроскопа напускают изображающий газ с известной добавкой газа-эталона. Получают устойчивое автоионное изображение очищенной; полевым испарением повер.ч (iocTi образца ж птюводят его (fwTOрепстрайию / например получают кадр /f /. Кратковременно снижрют потенциал острия с целью осааденжя ма его поверхности молекул газовой
доОавкж. Кратковременно повышают потенцжал острия на с/ и уменьшают до исходного значения с/о , соответствующего условиям наилучшего отображения поверхности образца. При этом часть адсорбированных частиц десорбируется полем, поскольку значение десорбирующего поля однозначно связано с энергией связи данной частицы с поверхностью образца. Повторно регистрируют автоионное изображение лг . Повышают потенциал острия на 2 С/ и т.д. - до тех пор, пока - не достигнет значения, соответствующего условиям полевого испарения атомов образца. Из полученной серии /i Г 4 f27 микрофотографий автоионних изображений методом шзетового выделения изготовляют / - I / тре.хцветных слайдов, причем парами для каждого слайда служат соседние по экспозиции кадры: ;
Кг И Т.Д. В дальнейшем с полющью ЭВМ проводят обработщг этого материала для расчета порога десорбции : полем молекул эталонного газа, црдобная операция повторяется для набора эталонных газов, а полученные результаты закладываются в
память ЭВМ. Анализ исследуеьшх частиц на поверхности образца состоит из подобной последовательности операций с той лишь разницей, что
на ЭВМ производится сравнительная обработка результатов анализа, а вы;вод конечной информации осуществляется как в виде цифровых значений для типов концентрации и кристаллографического распределения частиц на анализируемой поверхности, так и в виде графиков, распечаток моделей автоионных изображений и т.д. Таким образом, изобретение позволяет определить природу многих пятен на автоионном изображении, находящихся на одной поверхности исследуемого твердого тела.
ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Способ анализа частиц на поверхноаш твердого тела путем автоионнои микроскопии с пульсацией изображающего потенциала, о т л и ю щ,ж и
;с я тем, что, С целью определения типа нескольких частиц на поверхности тела, потенциал образца изменяют ступенчато от значения, соответствующего условиям наилучшего отображения, до значения, соответствующего полевому испарению, увеличива его прирост на постоянную величину и понижая всякий раз до исходного значения, при котором к фиксируют
автоионное изображение.
