Установка для бестигельной зонной плавки Советский патент 1977 года по МПК B01J17/10 

1

Изобретение может быть использовано в области выращивания монокристаллов полупроводников бестигельной зонной плавкой.

Известна установка для бестигельной зонной плавки электропроводящих материалов с индукционным нагревом зоны при помощи нераз-ьемного индуктора с произвольным количеством витков, имеющего внутренний диаметр меньше : диаметра подвергаемого зонной плавке образца. Установка включает герметичную камеру, в полости которой между вертикальными штоками, снабженными на концах зажимами, укреплен образец. Индуктор укреплен на вертикальном коаксиальном токовводе, снабженном приводами для перемещения его по вертикали и смещения индуктора в горизонтальной плоскости. Для смещения индуктора в горизонтальной плоскости при повторных проходах необходимо создать и разорвать расплавленную зону. В предлагаемой установке нижний зажим присоединен к штоку при помощи фрикционного конусного соединения, а верхний зажим присоединен к штоку с помощью прикрепленных к зажиму горизонтальных штырей, входящих в Г-образнае (прорези на конце штока. Это позволяет производить повторные проходы зоны, не разрывая расплавленную зону.

На чертеже изображена установка, общий вид..

Образец I из электропроводящего материала, подвергаемый зонйой плавке , устанавливают в полости герметичной кг1меры2 при помощи соосных вертикальных штоков 3 и 4. Затравка 5 крепится в нижнем зажиме 6, ооединенаом со штоксял 4 фрикционно. Хвостовик Vкэбразца крепится в зажиме 8, имеющем горизонтальные штыри 9, соединение между зажимом 8 и штоком 3 осущ ествляется введением штырей 9 в Г-образные прорези 10 иа конце штока 3. Расплавленную зону создают индуктором 11, укрепленном на вертикальном коаксиальном токовводе 12, внутренний диаметр которого меньше диаметра образца.

По окончании прохода зоны снизу вверх индуктор поднимают выше зажима 8, верхний шток поворачивают до становления штырей зажима 8 против вертикальных участков прорезей и поднимают на расстояние, необходимое дл отвода индуктора вбок и вниз. Затем соединяют зажим 8 со штоком и подниI мают верхний шток с зажимом 8, образ