Способ бестигельной зонной плавки Советский патент 1977 года по МПК B01J17/10 

Предлагаемый способ может быть применен, в металлургии полупроводников при очистке и выращивании монокристаллов бестигельной зониой плавкой.

В известном способе бестигельной зонной плавки образца из электропроводящего материала нагрев зоны производится неразъемным индуктором, внутренний диаметр которого меньше диаметра образца; индуктор возвращают в исходное положение после прохода зоны параллельно продольной оси образца.

Цель изобретения - осуществление повторных проходов зоны индуктором с произвольным количеством витков.Для этого в начале и в конце прохода расплавленную зону разрывают.

Способ осуществляют следующим образом.

Образец из электропроводного материала и затравку укрепляют в камере установки для бестигельной зонной плавки. По окончании прохода зоны вдоль образца снизу вверх ее разрывают путем разведения двух частей слитка на расстояние, больщее высоты индуктора. Индуктор смещают в горизонтальной плоскости в сторону от слитка таким образом, чтобы между

образцом и внещней стороной индуктора образовался зазор.

После смещения индуктора две части образца соединяют, зону замораживают, а индуктор возвращают в исходное положение относительно образца. В меСте стыка образца с затравкой внешней стороной индуктора создают расплавленную зону, которую затем разрывают, устанавливают индуктор соосно образцу, снова соединяют образец с затравкой, и производят очередной проход зоны.

Формула изобретения

Способ бестигельной зонной плавки образцой из электропроводящего материала с нагревом зоны при помощи неразъемного индуктора с внутренним диаметром, меньшим диаметра образца, отличающийся тем, что, с целью осуществления повторных проходов зоны индуктором с произвольным количеством витков, в начале ив конце прохода расплавленную зону разрывают.