Прямоточный испаритель для получения паро-газовых смесей Советский патент 1974 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к радио- и микроэлектронике.

Известен испаритель для получения парогазовой смеси для напыления пленок, в котором емкость для испаряемого материала и камера насыщения выполнены в одном термостатирующем корпусе и соединены между собой цилиндрическим каналом. В таком испарителе испарение материала проис.ходит со всей его поверхности.

Предлагаемый прямоточный испаритель для получения паро-газовых смесей, содержащий помещенные в термостат емкость для испаряемого вещества и расположенную над ней камеру насыщения, отличается тем, что испаритель снабжен капилляром, соединяющим емкость для испаряемого вещества с камерой насыщения.

Такая конструкция обеспечивает уменьщение концентрации легирующей примеси в паро-газовой смеси, так как испарение материала (лигатуры) происходит только с поверхности, ограниченной сечением капилляра.

На чертеже схематично изображен предлагаемый испаритель.

Испаритель содержит цилиндрический сосуд 1, например, из кварца, разделенный на две части перегородкой 2. Нижняя часть испарителя представляет емкость 3 для испаряемого вещества, снабженную трубкой 4 для

наполнения этой емкости испаряющимся веществом (лигатурой). Верхняя часть испарителя (камера 5 насыщения) снабжена трубками ввода 6 и вывода 7 газа-носителя. Испаритель с установленным в нем капилляром 8 по: 1ещен в термостат 9, внутри которого циркулирует термостатирующая жидкость.

Испаритель работает следующим образом. Газ-носптель проходит через камеру 5 пасыщения, где захватывает пары легирующего компонента с поверхности капилляра 8. Диаметр капилляра определяется в зависимости от требуемого диапазона концентрации лигатуры в паро-газовой смеси и упругости ее

паров. Трубка вывода 7 испарителя с помощью шлапга соединяется с установкой для диффузии или дрзгимп объектами.

В предлагаемом испарителе малая концентрация легирующего компонента в парогазовой смеси достигается путем уменьщения поверхности испарения до размера площади поверхности жидкости в капилляре.

При необходимости образования потоков различных паро-газовых смесей используют

несколько испарителей.

Предмет изобретения

Прямоточный испаритель для получения паро-газовых смесей, содержащий помещепные в термостат емкость для испаряемого вещества и расположенную над ней камеру насыщения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения концентрации легирующей

примеси в паро-газовой смеси контролируемого химического состава, испаритель снабжен капилляром, соединяющим емкость для испаряемого вещества с камерой насыщения.