Проектор Советский патент 1975 года по МПК G03B21/10 

1

Изобретение относится к оптико-механической промышлен.Н|ОСТ1И.

Известны проекторы, .например, для кантроля технологических операций сборки больших И нтегральных схем и полупр01во;дни,ковых орибо-ров, соде|ржащие осветитель, светоделительный элемент и два оптических .канала, проецирующих «зображения объектов на прооветлый эк(.

В предлагаемом проекторе повышена точность сборки интегральных схем благодаря тому, что один из оптических 1канало1в расположен по другую сторону установленного с возможностью пе.ремеш,ения вдоль оптической оси экраиа, иа котором выполнены отражательные участки, форма ко.торых соответствует контуру .наблюдаемых объектов.

На фиг. 1 н 2 показана схема описываемого проектора, содержащего два проекционных канала (фиг. 1), один нз которых включает в себя полупрозрачное зер1кадо 1, объектив 2, приз.му Наше 3, осветитель 4, зеркало 5, ахролаатическувд линзу 6, зеркало 7, окулятор 8, призму 9 и экран 10.

Второй проекционный ка;нал включает в себя зеркало И, окуляр 12, призму 13, ахроматическую линзу 14, призму 15, осветитель 16, призму Наше 17, механизм 18 фокусировочного перемещения объектива с объективом 19. Оба кана.ла расположены по разные стороны экрана 10, так что проецируют изображение навст1речу .друг другу, а их .оптические оси составляют замкнутый Контур.

Полупрозрачное зеркало 1 и экран 10 являются общими для обоих проекционных каналов. Объективы 2 и 19 выполнены с возмож.ностью фокусировочного перемещения с помощью .мехагаизма 18. Экран 10 может перемещаться вдоль оптической оси для регулировки масштаба увеличения.

П.роектор работает следующим образом. Объектив 2 первого проекционного ка1нала через полупрозрачное зеркало 1 совместно с ахроматической линзой 6 проецирует поверхность кристалла 20 в предметную плоскость окулятора 8 и далее на эк;ра1Н 10. Экран 10 (фиг. 2) содержит просветную зону А и отражательные зоны Б. На просветной части экрана 10 изображение кристалла не просматр,ивается, .а на отражательных зонах Б изображение К|ристалла с контактными площадками видно отчетливо. Ориентирование кристалла производится относительно знаков, нанесенных .на отражательных участках эК|рана 10 (на фиг. 2 показаны пунктирной линией) .

. Объектив 19 (ф.иг. 1) второго проекционного канала проецирует изображение поверхности корпуса 21 интегральной схемы, на .которой расположены контактные площадки.

совместно с ахроматической линзой 14 и окуляром 12 на экран 10 (фиг. 2).

Изображение ков тажтных площадок корпуса будет видно только на просветной части А зкр/аиа 10. Ориентация корпуса 21 осуществляеТся вписывайивм изображений ко1нт,а«Т1Ных площацак в специальные зиаки (показаны пунктиром), выполНбняые на просветной части эмра.на 10. Изображение кристалла 19 на проовбпной части экрана при большом расстоя,нии между плоскостяМИ кристалла и корпуса не будет видно. Отражательные участки Б экрана 10 могут иметь са-мую различную конфигура цию, в за1висимости от формы наблюдаемых объекто:в, увеличения каналов и алгорит.ма ориентации. Отражательные участки выполняют путем на-пыления в вакууме алюминия лли другого металла на матовую поверхность экрана. При необходимости отражательные участки могут быть выполнены полупрозрачными или подвижными на плоскости экрама.

Пред мет изобретения

Проектор, например, для контроля сборки интегральных схем, содержащий осветитель, светоделительный элемент и два оптических

канала, проецирующих изображения объектов на прооветный экран, отличающийся тем, что, с целью повышения точности сборки, один из оптических каиалов ра.сположен по другую сторону установленного с возможностью перемещения вдоль оптической оси экрана, на котором выполнены отражательные участки, форма которых соответствует контуру наблюдаемых объектов.

Ю

Риг. 2