Магнитная линза для фокусировки корпускулярных лучей, преимущественно электронных и протонных микроскопов, с перемещающимися полюсными наконечниками Советский патент 1952 года по МПК H01J29/66 H01J37/26 

Магнитные линзы, как известно, изготовляются с полюсными наконечниками, которые плотно вставляются в панцырь линзы. Для юстировки такой линзы относительно прибора приходится целиком переЛ1енхать всю линзу в приборе, одновременно переменгая все части прибора, находящиеся по одну сторону линзы. Такая конструкция .яинзы требует, чтобы полюси1.1е наконечники находи.(ись в вакууме, а обмотка .тинзы вне вакуума, вс-чедствие чего ripHcnoco6.чения Д.1Я передвижения линзы получаются особенно с.пожнымн и неудобным п в работе.

В предлагаемой магнитной линзе полюсные наконечники могут передвигаться внутри ее в нлоскости, перпендику/шриой оптической оси линзы, а юстировка достигается только нередвижением полюсных наконечников.

На чертеже изображена магнит1 ая линза в разрезе.

Обмотка / электромагнита заключена в железный нанцырь 2, являюнщйся маг титопроводом. Внутри панцыря имеется кольцевой зазор 3, запо;1:ненный немагнитным материа ЛОМ.

Магнитное поле, образуемое на оси линзы в области немагнитного зазора 3, является фокусирующей оптикой микроскопа. Для получения короткофокусной линзы нри большой скорости электронов внутрь линзы иомещен по.носный наконечник 4 из материала, обладаюнгего больнгим магнитным насыщением.

Ввнду того, что магнитиое ноле создается только к области нема нитного зазора полюсного наконечника 4, |1еремеща1 ь всю .тиизу не обязательно, а достаточно осугцествнть перемен;ение только одного ноллосного наконечника. Для выполнения этого внешний диаметр полюсноIo наконечника 4 сделан меньше внутреннего диаметра нанцыря 2 .шизы. Немагнитный зазор нолюсного наконечника также меньше немагпитиого зазора 3 панцыря.

Верхняя часть полюсного наконечника имеет фланец 5, которым он свободно опирается на панцырь линзы. Внутрь линзы вкладывается кольцо из ферромагнитного материала, которое может быть установлено иа резьбе, впрессовано в панцырь или укреплено .чюбым способом.

Полюсный иаконечии1ч 4 внизу касается этого кольца, что позволяет свободно передвигать его в плоскости, перпендикзлярной оптической оси. При этом пакоиечник вверху скользит фланцем по панцырю линзы, а токиим концом по кольцу.

Предмет и з о б р е т е к и я

Магиитиая линза для фок сировки корпускулярных лучей, иреимуп1ествеино в электронны.х и протонных микроскопах, с полюсными нги оиечниками, неремеи1,аюн1,имися в плоскости, пс-фпеидикулярной оптической оси /шизы, о т л и ч а ю и; а я с я тем, что, с целью юстировки магнитного ноля относительно оптической оси микроскопа, внешний диаметр по.люсиого наконечника сделан меньше внутреннего диаметра панцыря линзы, благодаря чему полюсный наконечник может скользить своим фланцем по паицырю линзы, а нижним своим концом по кольцу из ферромаг1Н- тиого материала, укрепленному в панцыре.