Изобретение относится к области тензометрии.
Известны тензорезпсторы с чувствительным элементом из проводящего тензочувствительного материала -- кремния, имеющие более высокую пизкочувствительпость, чем проволочные или фольговые тензорезисторы. Однако диапазон измеряемых деформаций и рабочий диапазон температур для этих тензорезисторов ограничены.
С целью расщирения диапазона измеряемых деформаций и рабочего диапазона температур в предлагаемом тензорезисторе чувствительный элемент выполнен в виде нитевидного кристалла пироуглерода.
Тензорезистор состоит из чувствительного
элемента, представляющего собой полученный путем пиролиза углеродсодержащих газов нитевидный кристалл пироуглерода, непроводящей подложки, соединенной с чувствительным элементом, и выводов, припаянных серебряной пастой к чувствительному элементу.
Предмет изобретения
Тепзорезистор с чувствительным элементом из проводящего тензочувствительного материала, отличающийся тем, ,что, с целью расщирения диапазона измеряемых деформаций и рабочего диапазона температур, чувствительный элемент выполнен в виде нитевидного кристалла пироуглерода.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Тензорезистор | 1979 |
|
SU847008A1 |
Способ определения чувствительности тензорезистора и устройство для его осуществления | 1984 |
|
SU1239514A1 |
Устройство для измерения скорости газожидкостного потока | 1988 |
|
SU1673986A1 |
Малобазный тензодатчик | 1985 |
|
SU1263996A1 |
Способ изготовления тензорезистора | 1980 |
|
SU932211A1 |
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ И ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ | 2007 |
|
RU2362133C1 |
СПОСОБ ТЕМПЕРАТУРНОЙ НАСТРОЙКИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ С МОСТОВОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ЦЕПЬЮ | 2004 |
|
RU2259537C1 |
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР | 1971 |
|
SU302589A1 |
Полупроводниковый тензорезистор | 1982 |
|
SU1116305A1 |
БИПОЛЯРНЫЙ ДАТЧИК ДЕФОРМАЦИИ НА ОСНОВЕ БИОСОВМЕСТИМОГО НАНОМАТЕРИАЛА | 2017 |
|
RU2662060C1 |
Авторы
Даты
1975-03-15—Публикация
1972-12-11—Подача