Двигаясь по транспортеру, изделие поступает на столик измерительного узла 4.
Источник света И, расширенный оптическим расширителем 12, проходит через растровую решетку 13. Растровая решетка 13 представляет собой ряд параллельных черных линий, нанесенных, например, на стеклянную пластинку с плотностью 3-5 лин/мм по всей пластинки. Оптическая система 14 проецирует изображение растровой решетки 13, отраженное от всей поверхности поверяемого полупроводникового изделия 15, в плоскость другой такой же растровой решетки 16 в масштабе 1:1. При оптическом наложении двух растровых решеток 13 и 16, в плоскости растровой решетки 16 формируется так называемая муаровая картина, состояшая из чередующихся темных и светлых полос. Муаровая картина является следствием «механической интерференции по аналогии с обычной интерференцией света. Возникающие муаровые полосы являются линиями уровня кривизны поверяемого изделия 15. Сканируя муаровую картину от всей поверхности поверяемого изделия и автоматически измеряя расстояние между полосами по всей площади изображения, производят контроль кривизны.
Результаты каждого измерения автоматически сравниваются с эталонной величиной, что позволяет разбраковать поверяемые пластины на годные и негодные. Это достигается тем, что муаровая картина, полученная в плоскости второй растровой решетки 16, проецируется объективом 17 через делительную пластину 18 и поворотное зеркало 19 в плоскость диафрагмы 21. Зеркало 19 вращается с помощью синхронного электропривода 20. осуществляя тем самым сканирование изображения муаровой картины относительно диафрагмы.
Предмет изобретения
Устройство для контроля кривизны плоских поверхностей изделий, содержащее источник монохроматического света, измерительный узел со столиком для размещения на нем контролируемого изделия, две растровые решетки, оптически сопряженные с плоскостью столика измерительного узла, оптическую систему с диафрагмой, фотоэлектрический приемник, установленный в световом потоке за диафрагмой, электронную схему, преобразующую сигналы от фотоприемника в управляющие импульсы, приемник контролируемых изделий, загрузочный узел, два транспортера, один из которых подает изделия на столик, а
второй - в приемник, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности контроля, оно снабжено зеркалом, закрепленным с возможностью поворота его в плоскости изображения и оптически сопряженным с
плоскостью диафрагмы, а источник света снабжен оптическим расширителем, установленным между этим источником и одной из растровых решеток.
