Способ обработки шлифованных керамических изделий Советский патент 1975 года по МПК C04B41/00 

1

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству керамических подложек для микроэлектроиных устройств.

Существующий в настоящее время способ обработки шлифованных керамических деталей заключается в последовательной обработке мелкими абразивами (с величиной зерен от 5 до 0,25 мкм). В качестве обрабатывающих материалов используются свободные (в виде порошков или паст) и связанные абразивы: алмазы, окись хрома, окись алюминия и другие твердые кристаллические материалы.

Целью изобретения является улучшение физического состояния поверхности керамики, в частности уменьшение ее пористости и диаметра пор для обеспечения возможности получения качественных тонкоплепочных структур электронных устройств.

При обработке форстеритовой керамики в качестве гидрозоля используют окпсь кремния

о

С размером частиц не более 800 А.

Предлагаемый способ может быть осуществлен следующим образом. Шлифованные известным методом керамические детали подвергают пропитке и полированию золем окиси кремния со значением рН 12-14. Щелочная среда создается добавлением в золь силиката щелочного металла, например натрия, или органических соединений, содержащих аминогруппу, нанример этилендиамина. Этот процесс производится на шлифовальном станке, например В1М.3105000, оснащенном мягким

полировальником, например сатином, натянутым на стекло. При этом обрабатываемые детали крепятся па плоскую шлифовальную головку.

Пропитанные детали обл игаются в муфельной печи при температуре ниже температуры оплавления пропитываюших частиц, т. е. порядка 400-600°С.

После обжига детали крепятся на шлифовальные головки (желательно в том же порядке) и производится окончательная доводка с применением нолируюн1,его состава на основе золя окиси кремния с добавленном органических соединений, содержащих аминогруппу до значения рН-12. При этом полирование

поверхности производится на глубину не более 1 мкм.

Проведенный анализ поверхности пропитанных деталей из форстеритовой керамики показал, что диаметр пор уменьшается с 1822 мкм до 13-15 мкм, пористость поверхности уменьшается с 4,7-5,8% до 2,4-3,1%.

Предмет изобретен и я

1. Способ обработки шлифованных керамических изделнй, включаюш,ий операции про3питки гидрозолем, полирования, отличающ и и с я тем, что, с целью уменьшеиия пористости, изделия посл.е пропитки подвергают обжигу, а полирование осуществляют материалом гидрозоля.5 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, 4 что при обработке форстеритовой керамики в. качестве гидрозоля -используют окись кремния. 3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что обжиг изделий осуществляют при 400-600°С.