Электродуговой испаритель Советский патент 1975 года по МПК C23C13/12 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель, содержащий анод, катод, экран, поджигаюш,ий электрод и источник питания электродуги. Однако при поджигании дуги в таком испарителе часто происходит приварка поджигающего электрода к катоду.

В целях повышения надежности работы предлагаемый испаритель снабжен электромагнитом, якорь которого механически связан с поджигающим электродом, а обмотка включена в цепь анод-поджигающий электрод.

На чертеже показан электродуговой испаритель. Он содержит катод 1 с экраном 2, поджигающий электрод 3, который через изоляционную втулку 4 прикреплен к якорю электромагнита 5, снабженного возвратной пружиной 6. Обмотка электромагнита электрически связана с поджигающим электродом и анодом 7.

Электродуговой испаритель размещен в вакуумной камере (на чертеже не показана) и питается от источника питания электродуги постоянного тока.

При включении источника питания элекгродуги или при погасании электродуги в процессе эксплуатации между катодом и анодом устанавливается напряжение холостого

хода источника питания электродуги. По цепи катод-поджигающий электрод--обмотка электромагнита-анод течет ток, величина которого достаточна для срабатывания электромагнита. Якорь втягивается в катушку, сжимая пружину 6. При этом поджигающий электрод, прикрепленный к якорю, перемещаясь, разрывает цепь тока с катодом. Момент размыкания сопровождается током самоипдукции с обмотки электромагнита, который возбуждает кратковременный разряд в образовавшемся зазоре между электродом и катодом, поджигающий электродугу. Так как цепь тока через электромагнит в

этот момент прервана, возвратная пружина перемещает якорь с электродом в исходное состояние, при котором электрод замыкается с катодом, образуя снова цепь тока катод- электрод-электромагнит-анод.

Предмет изобретения

Электродуговой испаритель, содержащий анод, катод, экран, поджигающий электрод и источник питания, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности работы, он снабжен электромагнитом, якорь которого механически связан с поджигающим электродом, а обмотка включена в цепь анод-поджигающий электрод.