Электродуговой испаритель материалов Советский патент 1977 года по МПК C23C13/08 

1

Иапбретение .относится к области радиотехники, в частности к процессам напылещя тонких пленок в вакууме.

Известны электродуговые испарители материалов, содержащие катод, анод, поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна.

Однако в известных устройствах материал катода испаряется неравномерно из-за интенсивного изнвса осевой части катода,

Цель изобретения - повышение равномерности исп.рения материала катода. Это достигается тем, что система сканированиякатодного пятна электродугового испарителя (Материалов, содержащего цилиндрический катод, поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна, выполнена в виде двух соленоидов, размешенных соосно катоду с обеих его сторон.

На чертеже представлен электродуговой испаритель материалов.

Испаритель содержит катод 1 с экранируюшими торцевыми дисками 2 и 3, поджигаюший электрод 4 и анод 5. Система сканирования катодного пятна включает соленоиды 6 и 7, обмотки которых подключены к источнику питания через регулировочные сопротивления 8 и 9.

Устройство работает следующим образом. Поджигающий электрод 4 возбуждает катодное пятно электродугового разряда на рабочей поверхности катода 1. Дуга, горящая между катодом 1 и анодом 5, взаимодействуя с магнитным полем соленоидов 6 и 7, перемещает катодное пятно вдоль замкнутой рабочей поверхности катода,

Скорость перемещения катодного пятна определяется суммарной величиной магнитного поля обоих соленоидов.

При прохождении одинакового электрического тока по обоим соленоидам перемещающееся катодное пятно будет удерживаться на оси рабочей поверхности катода. При увеличении или уменьшении тока в одном из

соленоидов при помощи сопротивления 8 и 8 иеремешаюшееся вдоль рабочей поверхности квтодноё пятно будет смещаться от оси рабочей поверхности катода в Сторону сопено) с большим током управления.

Таким образом, изменяй ток управления в каждом из соленоидов, можно добиться необходимого износа рабочей поверхности катоде, обеспечивающего оптимальные режимы напьтения.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель материалов, содержащий цилиндрический катод, анод,поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна, отличающийся тем, что, с целью повыщения райномернос- ти испарения материала катода, система сканирования катодного пятна выполнена в виде двух соленоидов, размещенных соосно катоду с обеих его сторон.