Электродуговой испаритель Советский патент 1983 года по МПК C23C13/08 

Об 00

W сх Изобретение относится к нанесен покрытий в вакууме и может быть ис пользовано в специальном технологи ческом оборудовании. Известен электродуговой испаритель, содержащий анод, испаряемый катод и поджигающий электрод 1. Недостатком известного испарите ля является низкая надежность рабо ты, обусловленная привариванием поджигающего электрода к катоду. Наиболее близким к предлагаемому является,электродуговрй испаритель содержащий расходуемый катод, анод экран, охватывающий нерабочую повер ность катода, причем между экраном и анодом включен конденсатор, предотвращающий горение заряда на нерабочих поверхностях катода, ограничительное сопротивление, включенное между поджигающим электродом и анодом, а также источник электропитания ts. Значение тока в цепи поджига ограничено сопротивлением, что снижает вероятность приваривания . поджигающего электрода при иницииро вании дугового разряда, однако элек тродуговой испаритель имеет недоста точную надежность работы. Цель изобретения - повышение надежности работы испарителя. Поставленная цель достигается тем, что в электродуговом испа. рителе, содержащем расходуемый като анод, поджигающий электрод, экран, охватывающий нерабочую поверхность катода, конденсатор, включенньой меж .ду экраном и анодом, и источник эле тропитания, поджигающий электрод . снабжен осциллятором, вход которого подключен к катоду через дополнительный конденсатор, а к аноду через дроссель. Предлагаемая конструкция испарителя имеет повышенную надежность ра боты вследствие отсутствия констант между поджигающими электродом и каTOft -м ( поджигающий электрод отделен от катода вакуумным зазором), что исключает возможность приваривания поджигающего электрода при поджиге, так как поджиг дуги осуществляетсяне прикосновением электрода поджига к катоду, а пробоем вакуумного промежутка высоковольтным импульсом, поступающим от осциллятора.. Яа-чертеже, представлена прин.ципиальная схема испарителя. Электродуговой испаритель состоит из анода 1, расходуемого катода 2, экрана 3, охватывающего нерабочую поверхность катода, поджигающего электрода 4, к которому подключен осциллятор 5. Катод 2 и экран 3 укре лены на изоляторе 6. В цепь анодкатод последовательно включены реле 7.тока, конденсатор 8, дроссель 9, 10 контактор, а параллельно - дбполнительный конденсатор 11. Между анодом 1 и экраном 3-включен конденсатор 12. Электроды испарителя подключены к источнику 13 постоянного тока. Электродуговой испаритель работает следующим образом. Включением тумблера подается напряжение на анод 1 и катод 2 испарителя, одновременно через замкнутый контактор 10 включается осциллятор 5, от которого к поджигающему электроду поступает высокбйольтный импульс, обеспечивающий пробой вакуумного промежутка между катодом и . анодом. Осциллятор работает только во время инициирования вакуумной дуги и период его работы регулируется реле 7 тока. Для защити источника 13 питания от высокочастотной составляющей осциллятора используется дроссель 9 и конденсатор 11, а для соединения осциллятора с межэлектродным промежутком по высокочастотной составляющей служит конденсатор 8. Предлагаемый бесконтактный поджиг вакуумной дуги в электродуговом испарителе обеспечивает высокую надежность работы испарителя в установках для нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент, детали машин и приборов.

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый .катод, анод, поджигающий электрод, экран, охватывающий нерабочую поверхность катода, конденсатор, включенный между экраном и анодом, и источник, электропитания, о тлич ающи йся тем, что, с целью повышения надежности работы испарителя, поджигающий электрод снабжен осциллятором вход которого подключен к катоду через дополнительный конденсатор, а к аноду - через дроссель.