Способ изготовления широкополосного ультразвукового преобразователя Советский патент 1975 года по МПК H01V7/00 

1

Изобретение может найти применение в широкополосных радиочастотных системах, содержащих ультразвуковые линии задержки, усилители ультразвука и другие акустоэлектронные устройства.

Известны способы изготовления широкополосных ультразвуковых преобразователей, в которых широкополосность достигается нанесением полосок или островков на разные частоты. Изготовление TaicHx преобразователей связано с большими технологическими трудностями.

Для упрошепия процесса изготовления шероховатой поверхности ;io предлагаемому способу газотранспортную реакцию производят слабоперенасыш,енпыми компонентами кадмия и серы при Tc:,aiepaType в зоне испарения от 690 до 720°С и дополнительно серы при температуре в зоне ьспарения 120°С при токе водорода от 2 до 2,2 литров в минуту.

При таком режи.иг обеспечивается сниральпо слоистый рост внешней границы эпитаксиального слоя кадмля и серы (CdS) преобразователя, неравномерности имеют вид пираМИД, распределенных но случайному закону, что исключает изреза1 ность частотной характеристики, а расширение полосы достигается за счет отсутствия у такого нреобразователя резонансных свойств и основного вклада и возбуждение звуковых воли от внутренней границы пьезопленки, гладкость которой определяется обработкой поверхности звукопров да.

Предмет пзобретения

СпосоО изготовления широкополосного ультразвукового преобразователя с пленочно

5 шероховиюй поверхностью путем газотранспортной реакции в токе кадмия н серы, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изгоговле ня шероховатой поверхности, реакд1 о производят слабоперепасышепными ком,.онентами кадмия и серы при температуре в зоне испарения от 690 до 720°С и дополн11тельно серы при температуре в зоне испарения 120°С при токе водорода от 2 до 2,2 литров в минуту.