(54) ФОТОШАБЛОН
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Фотошаблон и способ его изготовления | 1981 |
|
SU1003201A1 |
| Фотошаблон | 1974 |
|
SU516210A1 |
| Фотошаблон и способ его изготовления | 1978 |
|
SU938338A1 |
| Устройство для изготовления эквидистантных периодических решеток | 1984 |
|
SU1151904A1 |
| Способ изготовления трафаретной печатной формы | 1980 |
|
SU941211A2 |
| ИО- - .-•'^ т--х;:и':':с1'1Я ^'^ \ [;•;!: :шотк!:д | 1970 |
|
SU259612A1 |
| ИРИДОХРУСТАЛИКОВАЯ ДИАФРАГМА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2013 |
|
RU2526245C1 |
| Способ изготовления фотошаблона на галогенсеребряной фотопластине | 1985 |
|
SU1325396A1 |
| Способ получения рисунка фотошаблона | 1985 |
|
SU1308111A1 |
| Способ фотолитографии | 1971 |
|
SU656555A3 |
Изобретение может быть использовано в галографических системах формирования изображения. Известные фотошаблоны, выполненные в виде прозрачной подложки с повторяющимися прозрачными и непрозрачными элементами, имеют недостаточную разрешающую способность. Для повыщения разрещающей способности в предлагаемом фотощаблоне через интервал на прозрачные элементы установлены полуволновые пластины. На чертеже представлена принпипиальная схема описываемого фотошаблона, выполненного в виде подложки 1 с непрозрачными элементами 2 и прозрачными элементами 3 и 4, имеющими разную толщину, за счет чего фотошаблон является фазово-амплитудным, позволяющим использовать степень свободы оптического сигнала. Подлол.ка в местах прозрачных элементов через один интервал имеет толщину, измененную на величину (2т+1), материала показатель преломления подложки; т - целое число; .. - длина волны излучения. Формула изобретения Фотощаблон, выполненный в виде прозрачной подложки с повторяющимися прозрачными и непрозрачными элементами, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью повышения разрещающей способности, в нем через интервал а прозрачные элементы установлены полуволновые пластины.
W77 /f/x/.j / tvvTT
- 1
3
