ИО- - .-•'^ т--х;:и':':с1'1Я ^'^ \ [;•;!: :шотк!:д Советский патент 1970 года по МПК B23Q35/42 B25J7/00 

Известны устройства для совмещения микроэлементов с перемещаемыми в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметны-ми столиками, соединенными с иснолнительными элементами объемной гидравлической передачей, вынолненной на сильфонах.

Недостатками таких устройств являются сложные кинематические схемы и малая разрешающая способность.

Цель предложенного изобретения - достижение уверенного совмещения с высокой разрещающей способностью и уменьшение трудоемкости изготовления устройства.

Для этого в предлагаемом устройстве механизм настройки выполнен в виде поворотной вокруг вертикальной оси колонки, находящейся так же, как и предметный столик под воздействием узлов микронастройкя, из которых вы полнеп в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате теплового расширения.

На чертеже показан продольный разрез предложенного устройства и схема подводки вакуума, а также крепление чувствительного элемента, производящего угловые перемещения центрального щтока.

Устройство содержит поворотную колонку 1, находящуюся в сепараторе, благодаря чему достигается беззазорное соединение и отсутствует биение оси вращения. Колонка при помощи рычага 2 соединена с чувствительным элементом 3, и к се верхней части приклеена 2 мм резиновая прокладка 4. Колонка может регулироваться по высоте с помощью гайки 5.

Поворотное основание 6 свободно стоит на плите 7 и имеет возможность вращательного и поступательного движения в любом направлении. Соприкасающиеся повер.хности притерты и смазаны.

В верхней части основания вклеено резиновое кольцо 8, -на которое кладется фотошаблон, фиксируемый рамкой 9, которая имеет возможность двигаться в направляющих 10 за счет тепло-вого расщиреп;1я чувствительного

элемента //. Рамка вместе с нагревательным элементом закреплена иа диске 12, который имеет возможность двигаться по направляющим 13, закрепленным на неподвижном диске 14, благодаря тепловому расщирению чув:;

вительного элемента 15.

В колонке приклеена резиновая прокладка 16, позволяющая свободно двигаться основанию 6 т в то же время герметизирующая нолость В.

Жесткое соединение чувствительных элементов с движущи.мися частя.ми не создает люфтов при движен1ти в обратном направлении, что очень ценно при микронастройке, и эле.мент находится в корпусе, благодаря

Предлолсенное устройство работает следующим образом.

На резиновую прокладку 4 кладется пластина с нанесенным рисунком. Затем на резиновое кольцо 8 кладется фотошаблон, ф-иксируемый .рамкой. Для быстрого совмещения рисунка на фотощаблоне с рисунком на нластине основание 6 вместе с закрепленным на нем фотошаблоном простым движением руки перемещается относительно неподвижной колонки, на которой зафиксирована пластина.

Благодаря тепловому расширению чувствительных элементов 11 и 15, которое регулируется при помощи реостатов, производится микронастройка в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Угловое перемещение 1Ф1И микронастройке осуществляется посредством чувствительного элемента 3, линейное расщирение которого регулируется реостатом, а при помощи рычага 2 преобразуется в угловое перемещение колонки относительно фотощаблона.

После совмещения рисунков на фотощаблоне и пластине включается кран, и в полости В создается вакуум.

Благодаря деформации резинового кольца

8 фотошаблон под действием атмосферного

давления прижимается к пластине и тем самьш производится фиксация фотошаблона относительно пластины.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения микроэлементов, например микроминиатюрных элементов радиоэлектрояных схем, выполненное в виде перемещаемого в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметного столика, установленного на поворотном основании, связанном с механизмом удержания и настройки положения одного из совмещаемых элементов, отличающееся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности устройства, в нем механизм настройки выполнен в виде поворотной вокруг вертикальной оси колонки, «аходящейся, так же как и предметный столик, под воздействием узлов микронастройки, каждый из которых выполнен в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате

теплового расширения.