Способ изготовления керамических пьезоэлементов Советский патент 1976 года по МПК H03H3/02 H04R31/00 

1

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при призводстве пьезоэлементов.

Известен способ изготовления керамических пьезоэлементов, включающий обра- ботку инфракрасным иачучением, сортировк по линейному коэффициенту поглощения инфракрасного излучения, металлизацию и поляризацию электрическим полем заготовок пьезоэлементов.

Однако пьезоэлементы, изготовленные по известному способу, имеют низкую стабильность электрофизических характеристик и большую их дисперсию.

Цель изобретения - повышение стабиль- ности и уменьщение дисперсии электрофизических характеристик пьезоэлементов.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу перед металлизацией заготовки пьезоэлементов, имеющие более низ- кий линейный коэффициент поглощения инфракрасного излучения по сравнению с требуемым, отжигают в окислительной среде, а заготовки, имеющие более высокий линейный коэффициент поглощения отжигают в восстановительной среде и поляризацию производят электрическим полем с максимально возможной для данной керамики напряженностью, величина которой не превышает величины напряженности поля теплового пробоя керамики.

Способ может быть реализован следующим образом.

Заготовки керамических пьезоэлементов облучают инфракрасным изл чением и сортируют по коэффициенту линейного поглощения.

Заготовки, имеющие коэффициент поглощения больше оптимального для конкретного изцелия, отжигают в восстановительной среде при 6ОО-1ООО С до получения коэффициента поглощения, равного заданному. Заготовки пьезоэлементов, имеющие низкий коэффициент поглощения, отжигают в окислительной среде при 7ОО-1ООО°С до получения заданного коэффициента поглощения. Затем заготовки пьезоэлементов металлизируют. После металлизации заготовок поляризацию их проводят полем насыщения дл данного керамического материала, т. е. . :. Ш 3 ;, полем, напряженность которого ограничена лишь напряженностью поля теплового пробоя. Пьезоэлементы, изготовленные по .аанному способу имеют наилучшие электрофизические характеристики и значительно меньшую их дисперсию. Температурный коэффициент частоты пьезоэлементов уменьшается в 2-3 раза, резко увеличивается стабильность поляризованного состояния, определенное по располяризующемуся действию тепловых полей к механотеских напряжений, уменьшается дисперсия электрофизггческих характеристик почти в 2 раза и увеличивается выход год ных изцелий. Формула изобретения Способ изготовления керамических пьезоэлементов, включающий обработку инфракрасным излучением, сортировку по линейному коэффициенту поглощения инфракрасного излучения, металлизацию и поляризацию электрическим полем заготовок пьезо- элементов, отличающийся тем, что с целью повышения стабильности и уменьшения дисперсии электрофизических характеристик пьезоэлементов, перед металлизацией заготовки пьезоэлементов, имеющие более низкий линейный коэффициент поглощения инфракрасного излучения по сравнению с требуемым, отжигают в окислительной среде, а заготовки, имеющие более высокий коэффициент поглощения, отжигают в восстановительной среде и поляризацию производят электрическим полем с максимально возможной для данной керамики напряженностью, величина которой не превышает величины напряженности поля теплового пробоя керамики.