(54) ЦЕНТРИФУГА для НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
1
Изобретение относится к технологии нанесения различных покрытий на плоские проводящие и полупроводящие пластины, например фоторезиста на полупроводниковые пластины, при производстве полупроводниковых приборов.
В настоящее время в полупроводниковом производстве используются центрифуги, содержащие столик с металлическим основанием, оправку для закрепления пластин с помощью вакуума, канал для подвода вакуума, эл октродви гатель.
Недостатками известных центрифуг являются: ненадежность закрепления полупроводниковых пластин; необходимость использовать металлический пинцет или вакуумный присос для снятия пластин со столика центрифуги после нанесения фоторезиста;необходимость применения дорогостоящего и громоздкого вакуумного оборудования.
Цель изобретения - повышение надежности закрепления пластин.
Сущность изобретения заключается в том что на металлическое основание, соединенное с источником высокого напряжения уста
новлен полупроводниковый диск, который свободно покрывается полимерной пленкой.
На чертеже показана предложенная центрифуга.
Металлическое основание 1 центрифуги жестко связано с валом 2 электродвигателя На это основание проводящим клеем наклеивается полупроводниковый диск 3 толщиной 2-3 мм с удельным объемным электрическим сопротивлением 10 - 1Q Ом-м, на который свободно накладывается полимерная пленка 4 толщиной 1О-20 мкм с удельным объемным электрическим сопротивлением 10 -10 ОмМ. Полупроводниковая пластинка 5 помещается на эту пленку.
Описанная конструкция представляет собо конденсаторную систему, которая заряжается от источника высокого напряжения, собранного на базе схемы умножения. Рабочее напряжение составляет 15ОО-18ОО в, а потребляемые токи - несколько десятков микроампер. Полимерная пленка служит для накопления зарядов и для того, чтобы закрепление объектов было надежным в течение всего времени вращения столика центрифуги. При использовании фторопластовой пленки последняя вместе с объектом может быть перенесена в термостат для сушки фоторезиста без использования метвллического пинцета или вакуумного присоса. В качестве материала для полупроводящвго диска может быть использована обычная СВЧ-ферритовая керамика. Нанесение фот(:ч5взнста;Ъсуществляется следующим образом. Перед началом работы отисточннка напряженна заряжают конденсаторную систему, при этом один на электроаов стационарно соединен с корпусом иентрнфуги, другим, подвюкным, кратковременно касаЦ к)тся1Х рпаполупроводннковоЙпластнны. Засчет кудЬновскнхснл электростатического поля объекты вместе с полимерной пленкон закрепляются на полупроводниковом днске.3«тем из пипетки наносят фоторезист на объект, после чего конденсаторную систему прив дят во вращение от электродвигателя центрифуги. Через определенное время врашение прекрашаэтся, и пленка вместе с пластиной легко снимается со столика центрифуги за счет вертикального отрыва. Формула изобретения Центрифуга для нанесения покрытий, например фоторезиста, на полупроводниковые пластины, содержащая столик с металлическим основанием, жестко связанный с валом электродвигателя, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности закрепления пластин, на металлическое основание, соединенное-с ;источником высокого напряжения, установлен полупроводниковый дисКу покрытый полимерной пленкой.
Источник напрягкения
jfeKm/io9( иеатмь
