Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей Советский патент 1976 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

(:i4} 111(ТБРФ1; ОД ЕТР ДЛЯ КОМГГОЛЯ ФОГДИ

юлиг:ч;)вл11пь х, rioBf-;i-X irx:Ti-:H

лсх:к11х систекту iO, матовое стекло 11, две иризмы 12, 13 Дове в пупу 14; Нить источника 1 света проецируют двух кокшонентным конденсором 2, 3 в плоскость диа( S с увеличением пять. В паралпепьном пучке згстанавлргаают свотофильтр 4, свет от диафрагмы 5, находящейся в фокальной плоскости внеосево1-чэ парабоплоида 7, попадает на плоское зеркало в, ьиеосевой парабрллоид 7 и далее параллельным пучком падает на клиновидную эталош1ую пластину 8, нижняя поверхность которой является образцовой. Интерференционные пучки (от образцовой поверхности плас тины 8 и конт 1олируемой поверхности Детали 15) возвращаются назад на параболлоид 7 и, вследствие небольшого смешения входной диафрагмы 5 с оптической оси п фаболпоида (смешаются прйблиантельно на ЗО несколько в CTOpe.iy)j попадая яп центральную часть сф.рического зеркала 9, образукуг на ого поверхности изображение 5дИафрш мы 5 снова наблюдательной системой 10 переносится в следуюхцую плоскость, давая иаображениб 5, Вблизи этой плоскос.ти находится глаз наблюдателя, Сферическая отражающая поверхность зер кала 9 выполняет роль оптического элемента (коллектива), пригибающего все отражаю ;:111ося от него наклонные лучи к оптической . Это иамногю упрошает и ускоряет поиск оБТоколлимационного блика от контропируеhioJi поверхности детали 15 при настройке прибора В отличие от известного интерферометра f2J , наклон детали 15 даже на угол а несколько градусов не вносит никаких аатруднений в поиск блика и его выведение на ось. Если же перед выходным зрач ком З системы поставить матовое стекло 1 с отверстием посередине (как у автоколли- мациоиной трубки Забелина), то начальное попожениё контрол1фуемой поверхности может быть произвольным, т.к. на матовом cTesc e всегда будет виден блик, указывающий направление и величину угла рассогласовр.мия сравниваемых поверхностей. а фиг. 1 показан ход лучей при произ- аильной установке контролируемой детали. При указанном рассогласовании ( вольности) эталонной пластины 8 и контре 22 лируемой детали 15, блик 5 иахопитг:;я в стороне от оси и виден на матовом стекло 11. Наклоняя юстировочныкш винтами столика контролируемую деталь 15, выводят блик 5 на ойтическую ось ОО. Это поло жение обеспечивает согласование поверхностей эталошюй пластины 8 и детали 15, Т«е« появляется интерференционная картина первых порядков, которая и оценивается оператором. С целью повышения точности измерения между компонентами проекционной системы 10 помешены две призкгы Дове, делящие поле зрения на две половины. При установке этих призм в положение, когда их главные сечения и отражающие грани перпендикулярны друг другу, а визирные оси парШ1лельнь1 сруг друт И оптической оси cBCTfeMWi наблюдается наложение друг на яруга обоих частей поля зрения. Это дает возможность удвоить зйачёние прогиба полос. ....-. ,. Форму л а из об р е тоен II я Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей, содержащий расположенные лрследовлтолыю источник света, конденсор, диаф|эагму, плоское зеркало, вогнутое зеркало, клииовпдную .эталонную пластину, линзовую двухкрглпрнснтную наблюдательную систе ту, о т л и ч аю -ш и и с я те.м, что, с целью упрои.еиия настройки и повыщенИя точлости контроля, он снабжен noiiCKOBOft системой,- выполнелной в виде сферического аерквЛхТ расположенного мезкду вогну ттым зеркачом н наблюдательной системой так, что вершиииая точка совмещена с автоколлимационнь:м изображением диафрагк, а .чожду 7 :ini3oвыми компонентами наблюдательной системы помещены две Дове так, что их главные сечения и отражающие гр4Ш 1/перпендикулярны друг другу, 1 оси виаировпчия параллельны друг другу и оптичс-ской оси системьи Источники информации, принятые во внимания при экспортизе: 1.Захарьевский А. И. Интррф.эрометры, Оборюнгиз, 1956 г. 2.Техническое описание иНтер - Ч- -гра . ( /..5 Фиг. 1 Фиг Z