В основном авт. св. № 180376 оиисан интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, характерной особенностью которого является введение призмы Дове объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную новерхность, причем главное сечение и отражающая грань призмы Дове параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что в нем для одновременного контроля всей проверяемой поверхности наблюдательная система содержит второй оптический канал с включенным в него блоком из равноотстоящих призм Дове, отражающие грани которых параллельны друг другу.
На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра с бинокулярной наблюдательной системой.
Прибор состоит из источника 1 монохроматического излучения, конденсора 2, диафрагмы 3, расположенной в фокальной плоскости объектива 4, светоделительной пластины 5, пробного стекла 6, контролируемой детали 7, диафрагм 8 и 9, расположенных в фокальных плоскостях объективов 10 и //, имеюп :их одинаковые фокусные расстояния, светоделительной пластины 12, зеркал 13-15, блока 16 призм Дове, ромбических призм J7 и 18.
Световой поток от источника / монохроматического излучения через конденсор 2 освещает диафрагму 3. Параллельный пучок лучей, выйдя из объектива 4 и отразивщись от светоделительной пластины 5, падает нормально на эталонную поверхность пробного стекла 6. Отраженные от поверхности стекла 6 и от поверхности контролируемой детали 7 лучи, интерферируя друг с другом, образуют интерференционную картину, локализованную в воздушном промежутке между поверхностями стекла 6 и детали 7.
Интерференционная картина, представляющая полосы равной толщины, наблюдается двумя глазами через диафрагмы 5 и 9. Лучи направляются в бинокулярную систему с помощью светоделительной пластины 12 и зеркал 13-15. В одну из ветвей наблюдательной
-системы в параллельном ходе лучей перед объективом // введен блок 16 призм Дове. Отражающие грани призм Дове параллельны и расположены на равном расстоянии друг от друга. Размер отражающих граней призм в
направлении, перпендикулярном оптической оси, перекрывает световой диаметр объектива //. Ромбические призмы 17 TI 18 регулируют расстояние между выходными зрачками. При работе воздущный клин между пробным стек
