ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1967 года по МПК G01B11/30 G01B9/02 

По основному авт. св. N° 180376 известен интерферометр для контроля качества плоских онтических поверхностей, в котором между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена нризма Дове. Главное сечение и отражающая грань призмы параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.

Предложенный интерферометр отличается от интерферометра по основному авт. св. № 180376 тем, что между объективом наблЕОдателыюй системы и эталонной поверхностью, наложенной на контролируемую поверхность, введен блок, состоящий из нескольких призм Дове, отражающие грани которых лежат в одной плоскости и параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы. Это позволяет повысить точность измерения и ускорить процесс контроля.

На фиг. 1 изображена схема предложенного интерферометра; на фиг. 2 - поле зрения интерферометра.

Световой поток от источника / проходит диафрагму 2, находящуюся в фокальной плоскостн объектива 3. Параллельный пучок лучей, выйдя из объектива, нормально падает на эталонную поверхность 4 пробного стекла 5. Отраженные от поверхности 4 и от поверхности 6 контролируемой детали 7 лучи.

интерферируя собой, образуют интерференционную картину, локализованную в промежутке между поверхностями 4 и 6. Интерференционная картина, представляющая

собой полосы равной толщины, наблюдается визуально за диафрагмой 8, находящейся в фокальной плоскости объектива 3. Лучи направляются в наблюдательную систему с помощью светоделительной пластины 9.

Между объективом 5 и пробным стеклом 5 введен блок, состоящий из нескольких призм Дове 10. Отражающие грани и главные сечения призм параллельны выходящему из объектива пучку лучей, причем отражающие грани всех призм Дове лежат в одной плоскости, что достигается установкой призм на плоскопараллельиую стеклянную пластину 11.

Если в наблюдаемой интерференционной картине полосы равной толщины иаправлены

параллельно плоскости, в которой лежат отражающие гранн призм Дове, а изображения полосы, наблюдаемые в крайних призмах Дове, совмещены с самой полосой, то изображепия, наблюдаемые в средних призмах Дове,

оказываются смещепными по отношению к полосам на величину, вдвое большую стрелки искривления полосы в дайной точке. Высокая точность контроля достигается за счет повышения чувствительности |Глаза к нoниaльJt

изображения, наблюдаемого через призму Дове, на двойную величину.

Введение блока из нескольких призм Дозе позволяет производить оценку стрелок искривления полосы равной толщины одновременно во многих ее точках (число точек, в которых оцениваются стрелки искривления, равно удвоенному числу призм Дове).

Благодаря одновременности оценки стрелок искривления отпадает необходимость в прижиме контролируемой детали к пробному стеклу, тем самым устраняются причины, которые могут вызвать повреждение поверхности и искажение ее формы. Контролируемую деталь можно помещать на подъемный столик, снабженный механизмами для регулировки

его наклона, сохраняя воздушный зазор между пробным стеклом 5 и контролируемой деталью 7.

Предмет изобретения

Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей по авт. св. № 180376, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, между объективом наблюдательной системы и эталонной поверхностью, наложенной на контролируемую деталь, введено еще несколько подобных призм Дове, отражающие грани которых лежат Б одной плоскости и параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.

ППИЙ,,,.

;; i.s,fx.

I

ff7

Фиг.Ч

Фиг. 2