Способ изготовления омических контактов Советский патент 1986 года по МПК H01L21/265 

Описание патента на изобретение SU527988A1

Похожие патенты SU527988A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ В ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ УСТРОЙСТВАХ НА АМОРФНЫХ НЕЛЕГИРОВАННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКАХ 2009
  • Авачев Алексей Петрович
  • Вихров Сергей Павлович
  • Вишняков Николай Владимирович
  • Митрофанов Кирилл Валентинович
  • Мишустин Владислав Геннадьевич
  • Попов Александр Афанасьевич
RU2392688C1
Способ изготовления полупроводниковых структур 1974
  • Михаель Хаубольд
  • Герфрид Хайзе
  • Хартвин Оберник
  • Рихард Шимко
SU563704A1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР С ЗАХОРОНЕННЫМ МЕТАЛЛИЧЕСКИМ СЛОЕМ 1992
  • Двуреченский А.В.
  • Александров Л.Н.
  • Баландин В.Ю.
RU2045795C1
Способ получения тонких магнитных пленок в полупроводниках 1982
  • Петухов В.Ю.
  • Хайбуллин И.Б.
  • Зарипов М.М.
SU1114246A1
Способ создания р-п-переходов в сложных полупроводниках 1975
  • Гаврилов А.А.
  • Качурин Г.А.
  • Придачин Н.Б.
  • Смирнов Л.С.
SU550061A1
Способ синтеза тройных полупроводниковых соединений 1975
  • Качурин Г.А.
  • Придачин Н.Б.
  • Романов С.И.
  • Смирнов Л.С.
SU516317A1
Способ изготовления матричного накопителя для программируемого постоянного запоминающего устройства 1977
  • Кудрина Антонина Владимировна
  • Некрасов Дмитрий Михайлович
  • Полищук Юрий Яковлевич
SU765877A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ 2006
  • Попов Владимир Павлович
  • Тысченко Ида Евгеньевна
RU2301476C1
СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ 1991
  • Рыков В.В.
  • Кабешов А.В.
  • Рыкова Т.С.
  • Акашкин А.С.
RU2008742C1
ВАРИКАП 1994
  • Иоффе Валерий Моисеевич
RU2086045C1

Реферат патента 1986 года Способ изготовления омических контактов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ, включающий легирование полупроводника при внедрении ионов легирующей примеси до больших доз (более 4-10*'* см'*) и при повьппенных плотностях тока (более 4 мкА/см'^ ), отличающийся тем, что, с целью снижения сопротивления контактов, перед внедрением на полупроводник наносят пленку металла, дающего тот же тип проводимости в полупроводнике, что и внедряемая примесь» причем толщина пленки равна или меньше длины пробега ионов.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1986 года SU527988A1

Карацюба А.П., Туркин В,В., Юдин*Ф.В., Электронная техника
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1

SU 527 988 A1

Авторы

Герасименко Н.Н.

Двуреченский А.В.

Потапова Л.П.

Смирнов Л.С.

Даты

1986-09-30Публикация

1974-12-17Подача